至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司兰天获国家专利权
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龙图腾网获悉至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请的专利一种晶圆翻转进出装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119581379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411669824.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆翻转进出装置是由兰天;万晓强;唐宝国;陈新来设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻转进出装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆翻转进出装置，包括分别用于进料和出料的两个晶圆夹持翻转机构，所述晶圆夹持翻转机构包括：翻转架和用于驱动所述翻转架180度上下翻转的驱动单元、设置在所述翻转架上的两个晶圆托举单元、设置在所述翻转架上的晶圆夹持单元、用于在翻转前使第一托举面与夹持口对齐或者在翻转后使第二托举面与夹持口对齐的升降驱动模组，其能够对待清洗的晶圆和清洗后的晶圆分别进行翻转，从而满足晶圆背洗工艺的需求。
本发明授权一种晶圆翻转进出装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转进出装置，其特征在于，包括分别用于进料和出料的两个晶圆夹持翻转机构，所述晶圆夹持翻转机构包括： 翻转架和用于驱动所述翻转架180度上下翻转的驱动单元； 设置在所述翻转架上的两个晶圆托举单元，所述两个晶圆托举单元左右对称布置，所述晶圆托举单元包括前后水平间隔布置的两个托举块，所述托举块的内侧具有托举面组，所述托举面组由用于在翻转前水平承托晶圆边缘的第一托举面和用于在翻转后水平承托晶圆边缘的第二托举面，所述第一托举面和第二托举面上下相对布置，且所述第二托举面位于所述第一托举面的上方，两者均具有用于对晶圆边缘进行径向限位的限位部； 设置在所述翻转架上的晶圆夹持单元，所述晶圆夹持单元包括左右对称布置的两个晶圆夹持块和用于驱动两个晶圆夹持块接近或者远离的水平驱动模组，所述晶圆夹持块的内侧面上具有夹持口，所述晶圆夹持块位于同侧的两个托举块之间； 用于在翻转前使第一托举面与夹持口对齐或者在翻转后使第二托举面与夹持口对齐的升降驱动模组，所述升降驱动模组设于所述翻转架上。
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