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龙图腾网获悉江苏弘扬石英制品有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种半导体级合成石英制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119683632B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411907144.5，技术领域涉及：C01B33/158；该发明授权一种半导体级合成石英制备工艺是由徐煜清;徐源;徐传龙;冯维娥设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体级合成石英制备工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及石英制备技术领域，具体为一种半导体级合成石英制备工艺包括以下步骤：SS01、备料，将碱金属硅酸盐投入石英制备设备并加入中温纯水溶解稀释，SS02、除杂，将除杂剂加入SS01步骤中得到的碱金属硅酸盐稀释溶液中，充分搅拌并均匀混合，除杂剂加入后，对搅拌后的溶液进行静置沉淀，沉淀完毕后，对沉淀物进行过滤分离，并最终由静置沉淀后的溶液中分离出沉淀的重金属氢氧化物及可待离子交换的溶液。本发明的有益效果是：本装置工作时，能够一体的实现石英制备过程中的备料过程、除杂过程、离子交换过程及老化提纯过程，通过上述一体式流程的实现，从而有效提高石英制备时的自动化程度和制备效率。

本发明授权一种半导体级合成石英制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种半导体级合成石英制备工艺，其特征在于，包括以下步骤： SS01、将碱金属硅酸盐投入石英制备设备1并加入中温纯水溶解稀释； SS02、将除杂剂加入SS01步骤中得到的碱金属硅酸盐稀释溶液中，充分搅拌并均匀混合，对搅拌后的溶液进行静置沉淀，对沉淀物进行过滤分离，由静置沉淀后的溶液中分离出沉淀的重金属氢氧化物及可待离子交换的溶液； SS03、将步骤SS02中得到的待离子交换溶液通入强酸型阳离子交换柱5，溶液通入强酸型阳离子交换柱5后，以除去溶液中的钙离子和钠离子，钙离子及钠离子去除后，得溶胶液； SS04、将SS03步骤中的溶胶液转入反应釜2中，对搅拌后的溶胶液进行静置，得初始凝胶，在惰性气体保护下对获得的初始凝胶进行老化，对老化的凝胶进行高纯水浸泡及清洗，在惰性气体保护下对清洗后的湿凝胶进行干燥，得干燥凝胶，对获取的干凝胶粉碎，粉碎完毕后过筛，将粉碎后的干凝胶投入高温回转炉中进行烧结，对获得的石英砂进行超高纯提纯得到半导体级石英砂； 所述石英制备设备1包括反应釜2、纯水储箱3、高压气罐4和离子交换柱5，所述反应釜2内安装有制备反应机构，所述反应釜2的底端连通有三通底管6，所述三通底管6的一端连通有第一泵体，所述第一泵体的出液端与离子交换柱5的进液端连通，所述纯水储箱3上安装有第二泵体，所述离子交换柱5的出液端、高压气罐4的出气端和第二泵体的出液端均与反应釜2连通； 所述制备反应机构包括安装于反应釜2内顶部的支架11、安装于支架11上的振搅发生部件和转动套设于支架11上的牵引旋环12，所述振搅发生部件上传动连接有可沿反应釜2轴线方向往复位置的振液台13、可旋动的反应旋架14和可旋动的芯轴15，所述反应旋架14与振液台13转动连接，所述芯轴15上安装有传动伞齿轮，所述反应旋架14上安装有一组规则分布且与传动伞齿轮传动连接的粉碎及搅拌模块，所述反应旋架14的底面安装有压碾轴16，所述压碾轴16上安装有一组呈圆周阵列分布的第一粉碎刀17，所述压碾轴16上且对应第一粉碎刀17下方的位置固定安装有旋碾体18； 所述压碾轴16的底端安装有滤芯20，所述滤芯20上设有硅胶部21，所述硅胶部21上均布有滤孔，所述滤芯20的底端开口，所述滤芯20的内侧设有用于驱动硅胶部21往复形变的变形部件； 所述变形部件包括转动连接于滤芯20上的第二凸轮轴34和复位辊35，所述第二凸轮轴34和复位辊35上均安装有从动齿轮37，所述芯轴15的底端安装有主动齿轮36，两个所述从动齿轮37均通过主动齿轮36驱动，所述第二凸轮轴34上安装有一组挤压凸板41，所述挤压凸板41和复位辊35均设置于硅胶部21的内侧，所述挤压凸板41和复位辊35均与硅胶部21贴合。

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