浙江创芯集成电路有限公司栾经纬获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆偏移的检测装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119694938B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411863940.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆偏移的检测装置及检测方法是由栾经纬设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆偏移的检测装置及检测方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆偏移的检测装置及检测方法，所述晶圆具有定位槽；所述检测装置，包括：基板，用于承载所述晶圆；定位标识，位于基板上；探测单元，用于向基板的预设范围发射探测信号，以探测定位槽和定位标识是否位于预设范围内；采集单元，沿探测信号经预设范围内的基板透射或反射的路径上设置，用于在预设范围内的基板被探测单元探测时，获取预设范围内的定位槽和定位标识的图像信息，图像信息包括：定位槽的位置信息、定位标识的位置信息；处理单元，与采集单元连接，用于根据图像信息，确定晶圆的初始位置与图像信息中的晶圆的位置之间的偏移量。采用上述检测装置，可以提高生产效率。
本发明授权晶圆偏移的检测装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆偏移的检测装置，其特征在于，所述晶圆具有定位槽； 所述检测装置，包括： 基板，用于承载所述晶圆； 定位标识，位于所述基板上； 探测单元，用于向所述基板的预设范围发射探测信号，以探测所述定位槽和所述定位标识是否位于所述预设范围内； 采集单元，沿所述探测信号经所述预设范围内的基板透射或反射的路径上设置，用于在所述预设范围内的基板被所述探测单元探测时，获取所述预设范围内的所述定位槽和所述定位标识的图像信息，所述图像信息包括：所述定位槽的位置信息、所述定位标识的位置信息； 处理单元，与所述采集单元连接，用于根据所述图像信息，确定所述晶圆的初始位置与所述图像信息中的晶圆的位置之间的偏移量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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