山东大学王守志获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种基于芬顿反应的碱性氮化镓抛光液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119709020B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411601811.7，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种基于芬顿反应的碱性氮化镓抛光液及其制备方法是由王守志;官浩;张雷;李秋波;孙德福;王国栋;徐现刚设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于芬顿反应的碱性氮化镓抛光液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于化学机械抛光技术领域，涉及一种基于芬顿反应的碱性氮化镓抛光液及其制备方法。本发明提供的碱性氮化镓抛光液其组成包括过氧化氢、二氧化硅磨料、碳酸氢钠、铁盐、分散剂、稳定剂、络合剂和去离子水。本发明通过铁系离子络合物催化过氧化氢可以将芬顿反应的适用范围拓宽到碱性条件，使用稳定剂可以促进三价铁离子向亚铁离子的转化，增强亚铁离子的催化作用，延长抛光液的有效时长。本发明提供的抛光液对环境友好，不腐蚀加工设备，成本低，性质稳定，无需外加辅助设备操作更方便，可长时间稳定存储。
本发明授权一种基于芬顿反应的碱性氮化镓抛光液及其制备方法在权利要求书中公布了：1. 一种基于芬顿反应的碱性氮化镓抛光液，其特征在于，所述碱性氮化镓抛光液包括过氧化氢、二氧化硅磨料、碳酸氢钠、铁盐、分散剂、稳定剂、络合剂和去离子水，各组分重量百分比为：质量浓度为30%的过氧化氢 5‑30wt％，二氧化硅磨料0.01‑15wt％，碳酸氢钠 0.01‑1 wt％，铁盐0.1‑8wt％，分散剂0.01‑2wt%，稳定剂0.01‑2wt％，络合剂0.1‑8wt%，余量为去离子水；所述分散剂为十六烷基三甲基溴化铵、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、吐温、聚乙二醇辛基苯基醚中的任意一种；所述稳定剂为乙醚、羟胺、硝酸锌、硫酸锌中的任意一种；所述络合剂为乙二胺四乙酸EDTA、二乙烯三胺五乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、焦磷酸钠中的任意一种；所述铁盐为硫酸亚铁。
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