广东欧莱高新材料股份有限公司;广东欧莱新金属材料有限公司文宏福获国家专利权
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龙图腾网获悉广东欧莱高新材料股份有限公司;广东欧莱新金属材料有限公司申请的专利一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119733824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411929912.7,技术领域涉及:B22F1/00;该发明授权一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法是由文宏福;李培林设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法,将高纯钛粉压制成纯钛板坯,然后将纯钛板坯粉碎得到钛粉颗粒,再将钛粉颗粒和高纯钼粉放入真空混料机混合得到钼钛合金粉末,钼钛合金粉末通过烧结致密化制得钼钛合金坯锭,将钼钛合金坯锭装入包套内真空加热密封,再依次经过挤压成型步骤、退火步骤和精加工绑定步骤制成大尺寸规格的微观组织成分均匀、无偏析及开裂、高纯度的钼钛合金旋转靶材。通过制成纯钛板坯,以提高微观高纯钛粉聚集体强度及密度,再破碎获得钛粉颗粒,从而使高纯钛粉与高纯钼粉的密度相接近,因此能够提高钼钛合金粉末的混合均匀性,以使钼钛合金旋转靶材无偏析和开裂,提高钼钛合金旋转靶材的组织均匀性和纯度。
本发明授权一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法,其特征在于:包括以下步骤,步骤S1:制备钼钛合金粉末步骤,包括以下子步骤: 步骤S1.1:压制粉碎子步骤,将高纯钛粉通过冷等静压机压制成纯钛板坯,高纯钛粉的粒度为3~6um,通过气流破碎机将纯钛板坯粉碎得到钛粉颗粒; 步骤S1.2:混合子步骤,将钛粉颗粒过筛,选取粒度为6~15um的钛粉颗粒和高纯钼粉放入真空混料机混合得到钼钛合金粉末,高纯钼粉的粒度为5~15um; 步骤S2:烧结致密化步骤,将钼钛合金粉末灌装入热压炉的模具腔体内进行热压烧结,模具腔体的材质为石墨,模具腔体形状为圆柱形,先对模具腔体抽真空并加热至600~800℃后恒温恒压4~10H,然后继续将模具腔体加热至950~1200℃,再对模具腔体进行升压后恒温恒压4~8H,最后对模具腔体泄压并冷却至70~90℃,得到相对密度值为90~99%、含氧量≤800ppm的管状的钼钛合金坯锭; 步骤S3:靶坯封装步骤,将钼钛合金坯锭装入圆柱体形状的包套中,并焊封住内外圆及两端面,使包套完全包裹钼钛合金坯锭,然后将装有钼钛合金坯锭的包套放入马弗炉内加热至300~500℃并对包套抽真空至2*10‑3pa,检测包套无泄漏点后焊封密封包套; 步骤S4:挤压成型步骤,将密封后的包套放入马弗炉内,加热至1100~1350℃,保温2~6H后通过挤压机进行挤压处理,得到形状和尺寸均接近预设规格的钼钛管靶; 步骤S5:退火步骤,对钼钛管靶进行真空退火处理,退火温度设置为900~1150℃,退火时间设置为2~5H; 步骤S6:精加工绑定步骤,将退火后的钼钛管靶的内圆、外圆和端面进行车削加工,得到预设规格的钼钛管靶,最后将钼钛管与钛背管绑定焊合,得到长度大于2700mm的大尺寸的钼钛合金旋转靶材。
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