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浙江晶阳机电股份有限公司程旭兵获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江晶阳机电股份有限公司申请的专利一种高精度液面移动位置测量组件及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119776978B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411891777.1,技术领域涉及:C30B15/26;该发明授权一种高精度液面移动位置测量组件及测量方法是由程旭兵;徐永根;李敏设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高精度液面移动位置测量组件及测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高精度液面移动位置测量组件及测量方法,包括:坩埚,所述坩埚内装有硅液;导流筒,所述导流筒设于硅液上方,所述导流筒底部设有耐高温部件;晶棒冷却装置,所述晶棒冷却装置设于硅液上方,且所述晶棒冷却装置设于导流筒内,所述晶棒冷却装置底部开设有多个拉晶孔;相机,用于获取耐高温部件与耐高温部件在硅液面上倒影的图像;控制器,用于接收并处理相机传递过来的数据;所述耐高温部件上设有凸起,所述凸起上开设有通孔。本发明的高精度液面移动位置测量组件及测量方法使用方便通过相机测量与控制器控制,实现对晶棒冷却装置底部与原料硅液液面的移动位置实时测量与控制,从而可以控制晶棒的直径大小。

本发明授权一种高精度液面移动位置测量组件及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种高精度液面移动位置测量组件,其特征在于,包括: 坩埚,所述坩埚内装有硅液; 导流筒,所述导流筒设于硅液上方,所述导流筒底部设有耐高温部件; 晶棒冷却装置,所述晶棒冷却装置设于硅液上方,且所述晶棒冷却装置设于导流筒内,所述晶棒冷却装置底部开设有多个拉晶孔; 相机,用于获取耐高温部件与耐高温部件在硅液面上倒影的图像; 控制器,用于接收并处理相机传递过来的数据; 所述耐高温部件上设有凸起,所述凸起上开设有通孔; 所述晶棒冷却装置底部设有静电容检测装置; 所述静电容检测装置包括依次电连接的硅液接触件和信号放大器,所述硅液接触件从静电容检测装置底部向下突出L1距离,所述信号放大器与控制器电连接; 所述信号放大器包括电阻R1和滑动变阻器R2,所述电阻R1一端和滑动变阻器R2一端通过第一导线电连接,所述第一导线上连接有第二导线,所述电阻R1另一端连接有第三导线,所述滑动变阻器R2另一端连接有第四导线。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶阳机电股份有限公司,其通讯地址为:314413 浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇联保路22号(自主申报);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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