中国科学技术大学刘正坤获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种光栅绝对线密度检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119779647B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510148701.8,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种光栅绝对线密度检测系统及方法是由刘正坤;付硕;陈洁;邱克强;洪义麟设计研发完成,并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光栅绝对线密度检测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种光栅绝对线密度检测系统及方法,属于光学检测技术领域。通过增加入射光波长调制功能与波长监测功能,通过对入射光波长的调控得到光栅同一位置的不同衍射角度,以此确定该位置的绝对线密度。在不改变入射光波长的情况下,LTP对光栅线密度的相对检测精度为dNN=5×10‑7,本发明仅需改变一次入射光波长即可实现对各位置的绝对检测,保证了检测效率。经过理论分析与实际测试,本发明对光栅线密度的绝对检测精度达到dNN=1×10‑6。
本发明授权一种光栅绝对线密度检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种光栅绝对线密度检测系统,其特征在于,包括:探测器、傅里叶透镜、分束镜、激光器、准直器、分束光纤、波长计、第一平面反射镜、第二平面反射镜;探测器、傅里叶透镜、分束镜、激光器、分束光纤、准直器共同组成LTP光学探头,变换波长检测光栅绝对线密度时,激光器发射入射光束A,先经由分束光纤一部分进入波长计中监测此时的激光波长,另一部分经由准直器和分束镜反射到第二平面反射镜上,经由第二平面反射镜和第一平面反射镜的反射,入射到待测光栅表面,产生衍射光束B,再经由第一平面反射镜和第二平面反射镜的反射和分束镜、傅里叶透镜的透射,最后成像于探测器上,得到此时探测器记录的光斑位置信息;之后通过调控激光器,更改入射光束A的波长,得到衍射光束C成像在探测器上的位置信息。
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