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龙图腾网获悉北京航空航天大学杭州创新研究院;北京航空航天大学申请的专利一种基于扫描热显微镜的非平整表面热性能表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411926177.4，技术领域涉及：G01Q60/58；该发明授权一种基于扫描热显微镜的非平整表面热性能表征方法是由邓元;张青青;祝薇;郭占鹏;周杰;徐惠彬设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于扫描热显微镜的非平整表面热性能表征方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于扫描热显微镜的非平整表面热性能表征方法，本发明首先基于不同电压载荷对每个高度台阶的影响得到适用于每个高度台阶的使用电压载荷范围，从而避免由于过高的电压载荷引入附加效应，然后选出均适用于各高度台阶的第一使用电压载荷，向各高度台阶施加第一使用电压载荷，从而避免电压载荷对探针温度差产生较大影响，能够准确得到各高度台阶与探针温度差的关系模型，基于设定的最低温度分辨率值通过所述台阶高度与探针温度差的关系模型得到台阶高度上限值，筛选表面形貌满足该台阶高度上限值的待测样件通过扫描热显微镜进行扫描，从而能够抑制“artifact”现象，获得较为准确的热性能表征结果。

本发明授权一种基于扫描热显微镜的非平整表面热性能表征方法在权利要求书中公布了：1.一种基于扫描热显微镜的非平整表面热性能表征方法，其特征在于，包括： 1采用电子束曝光、干法刻蚀在硅片表面形成多个不同高度的台阶，其中，所述硅片表面的粗糙度≤10 nm； 2采用扫描热显微镜通过纳米热探针对每个高度的台阶施加不同电压载荷得到对应的探针温度差，获得对每个高度的台阶对应的探测温度差影响值小于探测温度差影响值阈值时对应的使用电压载荷范围，将均落入不同高度的台阶对应的使用电压载荷范围内的电压载荷作为第一使用电压载荷，其中，每个高度的台阶对应的探针温度差为每个高度的台阶的上表面和下表面的探针热信号的差值； 3通过纳米热探针对不同高度的台阶施加所述第一使用电压载荷得到对应的探针温度差，从而得到台阶高度与探针温度差的关系模型； 基于设定的最低温度分辨率值通过所述台阶高度与探针温度差的关系模型得到台阶高度上限值； 4如果待测样件的形貌高度的最高值高于台阶高度上限值，则降低待测样件的形貌高度，如果待测样件的形貌高度的最高值低于台阶高度上限值时，基于待测样件的不同形貌高度，从对应的使用电压载荷范围内选择对应的第二使用电压载荷进行扫描热显微镜扫描。

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