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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种自适应高精度线路修复方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812031B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510001837.6，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种自适应高精度线路修复方法及装置是由张昱;翁铭;方杨宾;张上进;陆华磊;杨冠南;黄光汉;崔成强设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自适应高精度线路修复方法及装置在说明书摘要公布了：一种自适应高精度线路修复方法，包括以下步骤：S1、通过光源照射被测样品，CCD高分辨率相机采集图像数据检测出线路存在的缺陷；S2、通过图像分析装置分析所收集到的缺陷图像数据得出喷嘴的修复路径，运用经验公式计算自适应改变喷嘴的运行参数；S3、通过电火花烧蚀装置烧蚀靶材电极制备纳米金属颗粒；S4、使用载气流速控制装置调节惰性气体流速将纳米金属颗粒送到纳米颗粒打印烧结装置中；S5、通过干气溶胶打印喷嘴将金属纳米颗粒打印到线路缺陷位置，通过喷嘴移动和基板下的可移动平台辅助下实现线路的完整修复；S6、开启加压泵和加热组件来实现加压加热烧结腔内基板上的金属纳米颗粒。本方案提高了线路修复的加工效率。

本发明授权一种自适应高精度线路修复方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种自适应高精度线路修复方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、通过光源照射被测样品，CCD高分辨率相机采集图像数据检测出线路存在的缺陷； S2、通过图像分析装置分析所收集到的缺陷图像数据得出喷嘴的修复路径，运用经验公式计算自适应改变喷嘴的运行参数； S3、通过电火花烧蚀装置烧蚀靶材电极制备纳米金属颗粒； S4、使用载气流速控制装置调节惰性气体流速将纳米金属颗粒送到纳米颗粒打印烧结装置中； S5、通过干气溶胶打印喷嘴将金属纳米颗粒打印到线路缺陷位置，通过喷嘴移动和基板下的可移动平台辅助下实现线路的完整修复； S6、开启加压泵和加热组件来实现加压加热烧结腔内基板上的金属纳米颗粒； 所述的图像分析装置将线路所存在的缺陷形貌参数通过分析建立相对坐标系得出喷嘴的运行轨迹，通过将缺陷的形貌参数应用经验公式来自适应改变喷嘴的运行参数确保线路修复的效率与修复质量良好； 喷嘴的运行参数满足以下关系式：； 该公式为步骤S2中的经验公式；其中，T为修复缺陷所需要的时间，w为缺陷部位的宽度，l为缺陷部位的长度，t为喷嘴沉积1um厚度的纳米金属颗粒所需的时间，d为喷嘴喷口的直径，为喷嘴的移动速度； 修复线路时，分析判断线路缺陷的大小深度和线路修复所需的时间来自适应改变喷嘴的移动速度，当缺陷较深时，通过多次填补，确保线路修复的效率与修复质量良好； 所述惰性气体中的惰性气体为氦气、氮气和氩气中的任一种，所述载气流速控制装置控制的气体流速为0‑1.6ms； 纳米颗粒打印装置包括干气溶胶打印喷嘴、可移动平台和加压烧结腔； 所述可移动平台置于加压烧结腔内，线路基板放置并固定于可移动平台上；所述干气溶胶打印喷嘴与连接气管连接，加压泵在外部与加压烧结腔连接； 所述的干气溶胶打印喷嘴直径为0.01um‑10um，所述的修复的线路宽度0.1um‑80um，纳米金属颗粒烧结后与基底的结合力为20； 所述的加压烧结腔包括加压腔、加压泵、传感器； 所述的加压泵与加压腔的进气口连接，加压泵通入惰性气体实现线路上的纳米金属颗粒的加压加热烧结；传感器用于检测加压腔内部的气压；烧结工作完成通过加压腔的排气口排出气体，所述加压腔内部的运行压强为0‑20MPa； 所述的可移动平台包括基板固定组件、加热烧结组件、三坐标系移动组件； 所述的基板固定组件用于将线路基板固定在可移动平台上，使基板能与可移动平台一起移动完成线路修复；所述的加热烧结组件用于从下方加热来实现线路上纳米金属颗粒的烧结；所述的三坐标系移动组件实现可移动平台的自由运动来满足线路修复时需要的复杂运动。

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