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龙图腾网获悉广东深威半导体有限公司申请的专利一种固晶供料装置及其角度修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812073B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411949969.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种固晶供料装置及其角度修正方法是由刘宁宁;莫辉发;张鹏;徐爱林设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种固晶供料装置及其角度修正方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种固晶供料装置及其角度修正方法，该固晶供料装置包括扩膜机构、设于扩膜机构上方的取晶摆臂机构、设于扩膜机构上方的第一视觉组件，以及设于取晶摆臂机构取料后的移动路径下方的第二视觉组件；所述扩膜机构包括扩膜台，以及依次设于扩膜台底部的扩膜旋转驱动模组、X轴驱动模组、Y轴驱动模组；第一视觉组件用于检测扩膜台上晶片的位置信息；第二视觉组件用于检测取晶摆臂机构取料后的晶片位置信息。本发明提供的一种固晶供料装置，其摆臂升降驱动模组通过设置连杆结构，结构简单易于实现，且能有效避免异物掉入固晶产品内。此外，本发明还提供了一种固晶供料装置的角度修正方法，自动化检测和校正过程减少了人工干预，通过精确计算偏差和补偿参数，避免因角度偏差和位移偏差导致的固晶质量问题。

本发明授权一种固晶供料装置及其角度修正方法在权利要求书中公布了：1.一种固晶供料装置，其特征在于，包括扩膜机构、设于扩膜机构上方的取晶摆臂机构、设于扩膜机构上方的第一视觉组件，以及设于取晶摆臂机构取料后的移动路径下方的第二视觉组件；所述扩膜机构包括扩膜台，以及依次设于扩膜台底部的扩膜旋转驱动模组、X轴驱动模组、Y轴驱动模组；所述第一视觉组件用于检测扩膜台上晶片的位置信息；所述第二视觉组件用于检测取晶摆臂机构取料后的晶片位置信息；所述取晶摆臂机构包括摆臂模组、用于驱动摆臂模组旋转的摆臂旋转驱动模组、用于驱动摆臂模组升降的摆臂升降驱动模组，以及设于摆臂模组末端的取料吸嘴；所述摆臂升降驱动模组的动力输出端连接有第一连接架，摆臂旋转驱动模组的动力输出端连接有第二连接架；所述第一连接架与第二连接架可拆卸式连接，摆臂模组与第二连接架可拆卸式连接；所述摆臂升降驱动模组包括连杆、摆臂升降驱动电机、与摆臂升降驱动电机驱动连接的转动块，以及用于导向第一连接架升降的至少一第一导向组件；所述连杆的上端与转动块转动连接，连杆的下端与第一连接架转动连接；所述摆臂升降驱动电机用于驱动转动块带动连杆摆动，以使得第一连接架经第一导向组件带动摆臂模组升降。

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