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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利探测器防护机构及半导体检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119880958B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510010664.4，技术领域涉及：G01N23/04；该发明授权探测器防护机构及半导体检测设备是由张立杰设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本探测器防护机构及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种探测器防护机构及半导体检测设备，半导体检测设备包括发射装置、探测器及探测器防护机构，发射装置用于发射多种束流的电子束；探测器用于接收经待测物品反射后的信号粒子；探测器防护机构设置于探测器与待测物品之间，探测器防护机构包括驱动组件与防护板，驱动组件与防护板连接以驱使防护板能够在与电子束路径相交的第一方向可动地设置，防护板开设有能够供电子束穿过的通孔；其中，驱动组件能够驱使防护板向第一方向的正方向移动，电子束射向待测物品的同时防护板阻挡信号粒子射向探测器；或者，驱动组件能够驱使防护板向第一方向的反方向移动，电子束射向待测物品的同时探测器接收信号粒子。

本发明授权探测器防护机构及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测设备，其特征在于，包括： 发射装置100，用于发射多种束流的电子束； 探测器200，所述探测器200用于接收经待测物品300反射后的信号粒子； 探测器防护机构400，设置于所述探测器200与所述待测物品300之间，所述探测器防护机构400包括驱动组件410、安装架430与防护板420，所述防护板420通过所述安装架430与所述驱动组件410连接，所述驱动组件410与所述防护板420连接以驱使所述防护板420能够在与所述电子束路径相交的第一方向可动地设置，所述防护板420开设有能够供所述电子束穿过的通孔4211，所述防护板420包括遮蔽部421与安装部422，所述通孔4211开设于所述遮蔽部421，所述遮蔽部421通过所述安装部422与所述安装架430可拆卸地连接； 其中，所述驱动组件410能够驱使所述防护板420向第一方向的正方向移动，以在所述电子束射向所述待测物品300的同时，使所述防护板420阻挡所述信号粒子射向所述探测器200；或者，所述驱动组件410能够驱使所述防护板420向第一方向的反方向移动，以使所述防护板420远离所述信号粒子的运动路径，从而在所述电子束射向所述待测物品300的同时，允许所述探测器200接收所述信号粒子。

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