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苏州恰克精密机械有限公司魏志忠获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州恰克精密机械有限公司申请的专利一种检测平台及用于晶圆瑕疵检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120044048B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510215510.9,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种检测平台及用于晶圆瑕疵检测方法是由魏志忠设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种检测平台及用于晶圆瑕疵检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种检测平台及用于晶圆瑕疵检测方法,涉及到视觉检测领域,包括检测箱,检测箱内设置有视觉检测传感器,检测箱上设置有两个存放箱,存放箱包括支撑架和箱盖,支撑架能够存放若干个晶圆片;检测箱上设置有垂直推动组件和水平推动组件,垂直推动组件能够将箱盖和支撑架向下推出存放箱,水平推动组件能够将对应的支撑架内的晶圆片推出;检测箱内还设置有夹持移动组件,夹持移动组件将晶圆片夹持并移动至视觉检测传感器位置;检测箱为封闭设置且内部安装有空气净化器。晶圆片在转移和检测过程中,不与外界环境接触,防止转移和检测过程中灰尘和杂质接触晶圆片,保证晶圆片质量。

本发明授权一种检测平台及用于晶圆瑕疵检测方法在权利要求书中公布了:1.一种检测平台,包括检测箱,其特征在于:所述检测箱内设置有视觉检测传感器,所述检测箱上设置有两个存放箱,所述存放箱包括支撑架和箱盖,所述支撑架能够存放若干个待检测物; 所述检测箱上设置有垂直推动组件和水平推动组件,所述垂直推动组件能够将所述箱盖和支撑架向下推出所述存放箱,所述水平推动组件能够将对应的所述支撑架内的待检测物推出; 所述检测箱内还设置有夹持移动组件,所述夹持移动组件将待检测物夹持并移动至视觉检测传感器位置; 所述检测箱为封闭设置且内部安装有空气净化器; 所述存放箱还包括箱体和复位弹簧,所述箱体的底部为开口设置,所述复位弹簧将所述箱盖压紧在所述箱体上; 所述水平推动组件包括水平推动气缸和水平推动块,所述水平推动气缸固定安装在所述检测箱内,所述水平推动块为弧形设置,所述水平推动块固定安装在所述水平推动气缸的输出端,所述水平推动组件还包括水平传输电机、水平传输辊和水平传输带,所述水平传输电机固定安装在所述检测箱内,水平传输辊固定安装在所述水平传输电机的输出端,所述水平传输带连接在水平传输辊上; 所述存放箱还包括固定块、固定框、滑动筒和滑动杆; 所述垂直推动组件包括垂直推动电机、垂直推动螺杆、垂直推动块和垂直限位板,所述检测箱上固定安装有推动架,所述垂直推动电机固定安装在所述推动架上,所述垂直推动螺杆转动连接在所述推动架上,所述垂直推动块套设在所述垂直推动螺杆上并与所述垂直推动螺杆螺纹连接,所述垂直推动块与所述固定框相对应,所述垂直限位板固定安装在所述推动架上,所述垂直限位板上开设有限位槽,所述垂直推动块滑动配合在限位槽内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州恰克精密机械有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市高新区科技城普陀山路187号2号厂房一楼东侧;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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