浙江摩克激光智能装备有限公司李瑞彦获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江摩克激光智能装备有限公司申请的专利一种等间距的激光分束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120079996B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510563882.0,技术领域涉及:B23K26/067;该发明授权一种等间距的激光分束装置是由李瑞彦;陈格知;曹宇;吴让大;蒋云峰;盛超;徐广琪设计研发完成,并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等间距的激光分束装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种等间距的激光分束装置,包括环形轨道,环形轨道由处于同一平面的、同圆心设置的内轨道和外轨道组成,转镜模块位于环形轨道的中心位置处,多个分光光路模块位于环形轨道上,且多个分光光路模块在环形轨道的Y轴方向上的投影间距一致;激光器发出激光光束,经准直器进行激光准直后进入至转镜模块,转镜模块可围绕光轴中心进行360°转动,激光光束由转镜模块射出,出射的激光光束在转动同时均匀照射在各分光光路模块中;分光光路模块对激光光束进行整形和准直后、聚集至位于移动平面上的加工样品表面。其包含准直、转镜分束、整形及聚焦模块,实现激光束的分束与聚焦,用于高精度激光刻线加工,大幅提高激光刻蚀的精度和稳定性。
本发明授权一种等间距的激光分束装置在权利要求书中公布了:1.一种等间距的激光分束装置,其特征在于,包括激光器、准直器、转镜模块、环形轨道、多个分光光路模块和移动平台; 所述环形轨道由处于同一平面的、同圆心设置的内轨道和外轨道组成,所述转镜模块位于所述环形轨道的中心位置处,多个分光光路模块位于所述环形轨道上,且多个分光光路模块在所述环形轨道的Y轴方向上的投影间距一致; 激光器发出激光光束,经准直器进行激光准直后进入至转镜模块,转镜模块内部的光轴中心与所述环形轨道的平面相垂直,转镜模块可围绕光轴中心进行360°转动,激光光束由转镜模块射出,出射的激光光束在转动同时均匀照射在各分光光路模块中; 所述分光光路模块对激光光束进行整形和准直后、聚集至位于移动平面上的加工样品表面,通过移动平面的移动对加工样品表面进行激光划线; 所述转镜模块包括转镜镜筒、驱动装置、第三透镜和第二反射镜;所述转镜镜筒由驱动装置驱动,其可围绕光轴中心进行360°转动,所述转镜镜筒内部沿光轴中心、从上至下依次安装有第三透镜和倾斜45°设置的第二反射镜,所述第二反射镜与第一反射镜水平正对设置,激光光束垂直进入至转镜镜筒内部,由第三透镜进行聚焦,再经第二反射镜反射,向后射出水平传输的激光光束; 所述分光光路模块包括分光镜筒、第一反射镜、小孔光阑、第一透镜和第二透镜;所述分光镜筒内部从上至下依次安装有同轴心设置的第一反射镜、小孔光阑、第一透镜和第二透镜,所述第一反射镜倾斜45°设置,将由转镜模块射出的水平传输的激光光束变为垂直传输的激光光束,垂直传输的激光光束经所述小孔光阑的通光孔穿过进行整形,再经所述第一透镜准直后,进入至第二透镜进行聚焦; 所述小孔光阑的通光孔直径为1mm~3mm。
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