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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司申请的专利基板传送装置及半导体制造设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120149239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510628718.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板传送装置及半导体制造设备是由韩青辰;林政毅;李勃;黄维儒;付雨婷设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板传送装置及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种基板传送装置及半导体制造设备，基板传送装置包括：中心固定轴；第一传送滚轮，包括第一固定件和第一滚动件，第一固定件固定于中心固定轴，第一滚动件套设于第一固定件的外围，且第一滚动件可绕中心固定轴转动；第一滚动件包括多个第一通孔；抽气通道，包括第一抽气管路，第一抽气管路位于第一固定件内，第一抽气管路包括朝向基板所在平面方向设置的第一进气管口，第一滚动件的其中一个第一通孔与第一进气管口连通。本申请提供的基板传送装置通过吸附传送的方式，避免机械应力对基板表面的损伤，解决了基板因机械压力导致的破片、膜层剥离等问题。

本发明授权基板传送装置及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种基板传送装置，用于承载并传送基板；其特征在于，包括： 中心固定轴； 第一传送滚轮，包括第一固定件和第一滚动件，所述第一固定件固定于所述中心固定轴，所述第一滚动件套设于所述第一固定件的外围，且所述第一滚动件可绕所述中心固定轴转动；所述第一滚动件包括多个第一通孔； 抽气通道，包括第一抽气管路，所述第一抽气管路位于所述第一固定件内，所述第一抽气管路包括朝向所述基板所在平面方向设置的第一进气管口，所述第一滚动件的其中一个所述第一通孔与所述第一进气管口连通； 所述基板传送装置还包括： 第二传送滚轮，包括第二固定件和第二滚动件，所述第二固定件固定于所述中心固定轴，所述第二滚动件套设于所述第二固定件的外围，且所述第二滚动件可绕所述中心固定轴转动；所述第二滚动件包括多个第二通孔； 其中，所述第二传送滚轮与所述第一传送滚轮沿所述中心固定轴的轴向间隔设置，所述抽气通道包括第二抽气管路，所述第二抽气管路位于所述第二固定件内，所述第二抽气管路包括朝向所述基板所在平面方向设置的第二进气管口，所述第二滚动件的其中一个所述第二通孔与所述第二进气管口连通； 所述抽气通道包括中心管路，所述中心管路位于所述中心固定轴内； 所述第一抽气管路包括与所述第一进气管口相对设置的第一连接管口，所述第一连接管口与所述中心管路连通； 所述第二抽气管路包括与所述第二进气管口相对设置的第二连接管口，所述第二连接管口与所述中心管路连通； 所述抽气通道的中心管路位于所述中心固定轴的中心，分别通过所述第一连接管口和所述第二连接管口与所述第一传送滚轮和所述第二传送滚轮上相应的通孔连通。

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