江苏大学叶云霞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏大学申请的专利一种激光加工玻璃通孔的方法、激光加工设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120306743B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510797349.0,技术领域涉及:B23H5/00;该发明授权一种激光加工玻璃通孔的方法、激光加工设备及存储介质是由叶云霞;杨森;杜宇航;赵紫怡;刘洋;任旭东设计研发完成,并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光加工玻璃通孔的方法、激光加工设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种激光加工玻璃通孔的方法、激光加工设备及存储介质,具体如下:确定目标孔的直径沿深度方向的变化关系;刻蚀后通孔直径相较于激光改质区域直径的增加量沿深度方向的变化关系;根据目标孔的直径和刻蚀后通孔直径相较于激光改质区域直径的增加量,确定激光改质区域直径沿待加工材料深度方向的变化关系;根据激光改质区域直径,确定类贝塞尔光束沿光束传输方向的轴上光强空间分布图,得到整形后的类贝塞尔光束;利用整形后的类贝塞尔光束,对待加工材料进行改质,然后刻蚀,得到具有目标孔的加工材料。本发明实现沿深度方向对玻璃进行空间上可控改质,配合沿玻璃深度方向上差异化的刻蚀时间分布,实现沿深度方向玻璃通孔直径可控。
本发明授权一种激光加工玻璃通孔的方法、激光加工设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种激光加工玻璃通孔的方法,其特征在于,包括如下步骤: 确定目标孔的直径沿待加工材料深度方向的变化关系,记为,其中距离材料进口端的垂直深度 为变量;确定温度不变情况下,刻蚀后通孔直径相较于激光改制区域直径的增加量沿待加工材料深度方向的变化关系,记为,具体如下: 确定待加工材料沿深度方向实际暴露于刻蚀液的时间,记为Td; ; 其中:为衰减系数,为待加工材料厚度;为待加工材料浸泡在刻蚀液中的时长; 所述衰减系数由刻蚀液性能和材料化学性能决定;刻蚀后通孔直径相较于激光改质区域直径的增加量沿待加工材料深度方向的变化关系如下: ;其中:为比例系数,表示暴露时间和刻蚀液百分比浓度对的影响,单位为μmmin; 为刻蚀液的百分比浓度; 为第一修正值; 所述第一修正值由下面公式确定: ;根据目标孔的直径和刻蚀后通孔直径相较于激光改制区域直径的增加量,确定激光改质区域直径沿待加工材料深度方向的变化关系,记为; 根据激光改质区域直径,确定类贝塞尔光束沿光束传播方向的光强空间分布,得到整形后的类贝塞尔光束; 利用整形后的类贝塞尔光束,对待加工材料进行改质; 将改质处理后的待加工材料进行刻蚀,得到目标孔。
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