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龙图腾网获悉浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种用于离子注入机的晶圆取料装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120319647B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510790821.8，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种用于离子注入机的晶圆取料装置和方法是由龚再生设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于离子注入机的晶圆取料装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于离子注入机的晶圆取料装置和方法，包括靶盘组件、举升组件和取料组件；靶盘组件包括底座，在底座的上方设有旋转靶盘，在旋转靶盘的顶面设有若干用于放置晶圆的物料槽，晶圆通过设置在物料槽内的固定机构锁紧；举升组件设置在靶盘组件的侧方，其包括驱动单元，驱动单元的输出端通过传动机构解除固定机构对晶圆的锁紧并将晶圆向上顶出物料槽；取料组件包括旋转杆，在旋转杆的下方设有用于驱动旋转杆转动的取料电机和用于驱动旋转杆上下移动的取料气缸，在旋转杆的两端端部分别设有一夹持机构，夹持机构用于取走顶出的晶圆，并放入新的晶圆。本发明通过设置一驱动电机便可同时实现对靶盘组件的解锁和举升动作。

本发明授权一种用于离子注入机的晶圆取料装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入机的晶圆取料装置，其特征在于，包括靶盘组件1、以及与靶盘组件1配合的举升组件2和取料组件3； 所述靶盘组件1包括底座11，在底座11的上方设有旋转靶盘12，旋转靶盘12的底部设有旋转轴13，在旋转靶盘12的顶面设有若干用于放置晶圆4的物料槽14，晶圆4通过设置在物料槽14内的固定机构5锁紧； 所述举升组件2设置在靶盘组件1的侧方，其包括驱动单元，驱动单元的输出端设有传动机构6，且通过传动机构6解除固定机构5对晶圆4的锁紧并将晶圆4向上顶出物料槽14； 所述传动机构6包括底板61，设置在底板61下方的驱动电机62的输出端与设置在底板61上方的滚珠丝杠63传动连接，设置在滚珠丝杠63上的滑块64连接有同步移动的活动板65，在活动板65的两侧分别固定设置有一导向传动杆66，解锁板67的一端套设在导向传动杆66上，并通过第三弹簧69与活动板65弹性连接，解锁板67的另一端延伸至固定机构5，且可在驱动电机62的带动下推动锁紧组件52的移动块526以解除柔性限位块528对晶圆4的锁定； 所述解锁板67的底部设有活动基座671，活动基座671的两侧分别设有一通孔，且通过通孔套设在导向轴672上，导向轴672的两端分别通过一定位座673安装，定位座673固定设置在活动基板674的顶面，在活动基板674的底面设有滑动块675，所述滑动块675与平行设置在滚珠丝杠63侧方的滑轨676配合； 所述导向传动杆66分别位于解锁板67的两侧，导向传动杆66的端部与第一连杆661的一端连接，第一连杆661的另一端向下倾斜，且与通过第一转动件662与第二连杆663的一端活动连接，在第二连杆663的另一端设有第二转动件664，在第一转动件662和第二转动件664的内侧端分别设有一顶升块665，顶升块665可在导向传动杆66的推动下转动顶起基板521，位于相对侧的两个顶升块665通过一同步转动轴666连接，在同步转动轴666上设有用于复位顶升块665的扭簧667； 所述取料组件3包括旋转杆31，在旋转杆31中间位置的下方设有用于驱动旋转杆31转动的取料电机32和用于驱动旋转杆31上下移动的取料气缸33，在旋转杆31的两端端部分别设有一夹持机构7，夹持机构7用于取走顶出的晶圆4，并放入新的晶圆4。

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