长鑫存储产品(合肥)有限公司刘磊获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储产品(合肥)有限公司申请的专利芯片测试设备及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120394477B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510905190.X,技术领域涉及:B08B7/00;该发明授权芯片测试设备及其控制方法是由刘磊;张健;史程虎设计研发完成,并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片测试设备及其控制方法在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体技术领域,提供一种芯片测试设备及其控制方法,用于解决测试插座的清洁效率低和机台等待时间长的技术问题。芯片测试设备包括:分拣装置,包括用于容纳第一载盘的第一腔室,第一载盘上设置有清洁颗粒;测试装置,包括第二腔室和测试插座,第二腔室用于容纳第二载盘,测试装置用于通过测试插座与位于第二载盘上的待测的芯片电气连接并对待测的芯片执行测试操作;传输部件,用于传输第一载盘;控制部,用于在测试插座达到预设清洁条件时,控制传输部件将第一载盘从第一腔室移动至测试插座所在的第二腔室并控制第一载盘对测试插座执行清洁操作。如此,可以有效提高测试插座的清洁效率,同时缩短机台等待时间并提升机台产能。
本发明授权芯片测试设备及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种芯片测试设备,其特征在于,包括: 分拣装置,包括第一腔室和第三腔室,所述第三腔室和所述第一腔室沿垂直方向依次设置且所述第三腔室与所述第一腔室之间设置有隔离门;所述第一腔室用于容纳第一载盘,所述第一载盘上设置有清洁颗粒; 测试装置,包括第二腔室和测试插座,所述测试插座位于所述第二腔室内,且所述第二腔室用于容纳第二载盘,所述测试装置用于通过所述测试插座与位于所述第二载盘上的待测的芯片电气连接并对所述待测的芯片执行测试操作;所述第三腔室用于在所述隔离门关闭时,对在第一预设温度下完成所述测试操作的芯片所在的所述第二载盘执行第一加热操作,以使所述第二载盘和所述芯片的温度升高至第二预设温度; 传输部件,用于在所述第一腔室与所述第二腔室之间传输所述第一载盘; 控制部,用于在所述测试插座达到预设清洁条件时,控制所述隔离门开启并控制所述传输部件将所述第一载盘从所述第一腔室经由所述隔离门和所述第三腔室转移至所述第二腔室,且控制所述第一载盘上的清洁颗粒对所述测试插座执行清洁操作。
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