南杰智汇(深圳)科技有限公司邹健莉获国家专利权
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龙图腾网获悉南杰智汇(深圳)科技有限公司申请的专利目标被测物的厚度变化量测量方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120403460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510821644.5,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权目标被测物的厚度变化量测量方法及装置是由邹健莉设计研发完成,并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本目标被测物的厚度变化量测量方法及装置在说明书摘要公布了:本申请涉及图像处理技术领域,尤其涉及一种目标被测物的厚度变化量测量方法及装置,通过显微镜获取基准物的当前帧图像与上一帧图像,并计算两帧图像之间的清晰度变化量,根据清晰度变化量和预设阈值调整显微镜的Z轴移动以实现基准物的精确聚焦,根据显微镜Z轴的移动距离和清晰度变化量对应的高度变化量,确定目标被测物的厚度变化量,实现了非接触式、高精度的厚度变化测量。
本发明授权目标被测物的厚度变化量测量方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种目标被测物的厚度变化量测量方法,其特征在于,所述方法包括: 获取基准物的当前帧图像与上一帧图像,并计算所述当前帧图像和所述上一帧图像之间的清晰度变化量,所述当前帧图像和所述上一帧图像通过显微镜获取;所述基准物放置于所述目标被测物上方,与所述目标被测物上表面接触; 根据所述清晰度变化量和预设阈值,调节所述显微镜的显微镜Z轴以使得所述显微镜对所述基准物进行聚焦;所述预设阈值符合清晰度‑高度映射关系的线性关系区间,且所述预设阈值大于z轴最小分辨率;包括:根据所述清晰度‑高度映射关系确定所述清晰度变化量对应的高度变化量;将所述高度变化量和所述预设阈值进行比较;当所述高度变化量大于所述预设阈值,确定调整所述显微镜Z轴; 根据所述清晰度变化量和所述显微镜Z轴的移动距离,计算所述目标被测物的厚度变化量; 所述方法还包括:获取所述基准物的最佳聚焦图像,并将所述最佳聚焦图像对应的清晰度评分确定为最高清晰度评分;获取所述显微镜在离焦距离等于所述显微镜的所用物镜景深时的所述基准物的模糊聚焦图像,并将所述模糊聚焦图像对应的清晰度评分确定为最低清晰度评分;获取所述基准物在不同离焦状态下的第一基准物图像,得到基准物图像集合;计算所述基准物图像集合中每张第一基准物图像的第三清晰度评分;根据所述最高清晰度评分、所述最低清晰度评分及所述第三清晰度评分拟合清晰度变化率与高度变化率的函数关系;将所述清晰度变化率与高度变化率的函数关系确定为所述清晰度‑高度映射关系。
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