山东省工业技术研究院贾志泰获国家专利权
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龙图腾网获悉山东省工业技术研究院申请的专利一种抑制氧化镓持续光电导效应的方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120417547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510912264.2,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种抑制氧化镓持续光电导效应的方法及应用是由贾志泰;张洁;钟宇;陶绪堂设计研发完成,并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抑制氧化镓持续光电导效应的方法及应用在说明书摘要公布了:本发明属于半导体器件技术领域,涉及一种抑制氧化镓持续光电导效应的方法及应用。所述方法包括:提供晶体氧化镓材料,并对所述晶体氧化镓材料预热;预热温度不低于金属镓的熔点;在空气条件下,将液态镓摊铺,摊铺后的液态镓表面形成非晶氧化镓膜层;在保持液态镓为液体状态的条件下,将预热后的晶体氧化镓材料表面与液态镓表面的非晶氧化镓膜层接触,使得非晶氧化镓膜层转移至晶体氧化镓材料表面;对晶体氧化镓材料表面的非晶氧化镓膜层进行氮化、磷酸化或硫化,使得非晶氧化镓膜层转化为氮化镓膜层、磷酸镓膜层或硫化镓膜层。本发明提供的方法在提升材料性能的同时,大大提高了其光电探测器件的响应速度。
本发明授权一种抑制氧化镓持续光电导效应的方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种抑制氧化镓持续光电导效应的方法,其特征是,包括如下步骤: 提供晶体氧化镓材料,并将晶体氧化镓材料的表面进行亲水处理,将亲水处理后的晶体氧化镓材料进行预热;预热温度不低于金属镓的熔点; 在空气条件下,将液态镓摊铺,摊铺后的液态镓表面形成非晶氧化镓膜层; 在保持液态镓为液体状态的条件下,将预热后的晶体氧化镓材料表面与液态镓表面的非晶氧化镓膜层接触,使得非晶氧化镓膜层转移至晶体氧化镓材料表面; 对晶体氧化镓材料表面的非晶氧化镓膜层进行氮化、磷酸化或硫化,使得非晶氧化镓膜层转化为氮化镓膜层、磷酸镓膜层或硫化镓膜层; 亲水处理采用的亲水试剂为顺丁烯二酸酐、丙烯酸或甲基丙烯酸。
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