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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种晶圆盒传送机械手及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120432432B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510922487.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆盒传送机械手及控制方法是由王成鑫;郑瑜谦;王振强;下野智成;戚汉凌设计研发完成，并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒传送机械手及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆盒传送机械手及控制方法，涉及晶圆盒传送技术领域，包括底板外壳，所述底板外壳的一侧固定安装有夹爪外壳，所述夹爪外壳上固定安装有晶圆夹爪，所述底板外壳的另一侧固定安装有背板，所述背板的底部安装有关节轴，所述背板的一侧对称活动安装有两个晶圆盒夹爪托架。本发明提供一种晶圆盒传送机械手及控制方法，通过将晶圆盒夹爪托架与晶圆夹爪的进行一体化设计，减少了空间的占用，且对于两个单独的晶圆盒夹爪托架和晶圆夹爪来说，在有限的空间可能会使晶圆盒夹爪托架和晶圆夹爪发生碰撞，需要运动规划等，而晶圆盒夹爪托架和晶圆夹爪的一体化设计能够显著减少设备体积和复杂性，使其能够在狭小空间中更加灵活地操作。

本发明授权一种晶圆盒传送机械手及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒传送机械手，包括底板外壳2，其特征在于，所述底板外壳2的一侧固定安装有夹爪外壳4，所述夹爪外壳4上固定安装有晶圆夹爪1，所述底板外壳2的另一侧固定安装有背板3，所述背板3的底部安装有关节轴5，所述背板3的一侧对称活动安装有两个晶圆盒夹爪托架6，两个所述晶圆盒夹爪托架6上均对称固定安装有第一夹紧块7和第二夹紧块8，所述第一夹紧块7和第二夹紧块8的下方分别安装有第一支撑块9和第二支撑块10，所述背板3的表面设置有多个FU18M光纤传感器18，所述FU18M光纤传感器18上安装有接收器，所述背板3的顶部固定安装有晶圆挡片16； 所述背板3的内部固定安装有气缸17，所述气缸17上固定安装有移动块11，所述背板3内壁的两侧均固定安装有主连杆13，所述移动块11和所述主连杆13之间设置有转动连杆14，所述转动连杆14与所述移动块11和所述主连杆13之间均通过多个轴承螺钉15安装连接，所述主连杆13与所述晶圆盒夹爪托架6之间也通过轴承螺钉15安装连接，所述FU18M光纤传感器18的数量设置为二十五个，其直径为1mm，且均匀的分布在所述背板3上，所述第二夹紧块8和第二支撑块10设置在所述晶圆盒夹爪托架6的内侧，所述第一夹紧块7和第一支撑块9设置在所述晶圆盒夹爪托架6的外侧； 所述FU18M光纤传感器18与所述背板3之间通过多个螺栓和螺纹槽连接进行固定，接收器安装在所述FU18M光纤传感器18的末端，且通过螺丝进行安装固定，所述关节轴5通过紧固螺钉安装在晶圆传送机械手或晶圆搬运机器人的上； 所述背板3的内部且位于所述移动块11的一侧安装有第一到位传感器19，所述第一到位传感器19的下方安装有第二到位传感器20。

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