中国科学院长春光学精密机械与物理研究所黄盼获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种CO2激光放大器温度梯度效应补偿电极设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120470805B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510934001.1，技术领域涉及：G06F30/20；该发明授权一种CO2激光放大器温度梯度效应补偿电极设计方法是由黄盼;赵崇霄;冯育泽;潘其坤;徐新行;曾文彬;张冉冉;周益平设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CO2激光放大器温度梯度效应补偿电极设计方法在说明书摘要公布了：本申请涉及激光技术领域，提供一种CO2激光放大器温度梯度效应补偿电极设计方法，所述激光放大器应用于极紫外光刻光源，包括：构建激光放大器沿轴向下游方向的电极宽度距离起始位置x处的弧度函数；根据电极宽度距离起始位置x处的弧度函数设计电极结构，使电极沿轴向螺旋延伸，且沿轴向电极宽度对应的弧度递增。本申请通过设计沿气体流动方向轴向上弧度增大的螺旋电极结构，使得放电区域电场强度E沿轴向发生改变，以补偿轴向热效应导致的气体粒子数密度N减小，保持放电条件EN维持在一定水平，减小轴向温度梯度对于气体轴向放电均匀性的影响。
本发明授权一种CO2激光放大器温度梯度效应补偿电极设计方法在权利要求书中公布了：1.一种CO2激光放大器温度梯度效应补偿电极设计方法，所述激光放大器应用于极紫外光刻光源，其特征在于，包括： 构建激光放大器沿轴向下游方向的电极宽度距离起始位置x处的弧度函数： 其中，k为静电力常量,表示玻璃放电管管壁厚度,为放电区域起始位置的电功率注入，kB为玻尔兹曼常数，ω为射频角频率，ε为石英玻璃介电常数，L0为电极总长度，a为放电阈值，P为放电气体压强，d为放电间距，U0为放电电极电压，C气体为气体比热容，v气体为气体流速，S为放电玻璃管截面积，为气体密度，为放电区域起始位置的气体温度； 根据电极宽度距离起始位置x处的弧度函数设计电极结构，使电极沿轴向螺旋延伸，且沿轴向电极宽度对应的弧度递增。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励