齐耐润科技(上海)股份有限公司骆劲松获国家专利权
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龙图腾网获悉齐耐润科技(上海)股份有限公司申请的专利一种半导体零部件涂层的加工控制方法、系统及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120551044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511046831.7,技术领域涉及:B05D7/22;该发明授权一种半导体零部件涂层的加工控制方法、系统及存储介质是由骆劲松;骆泓旸设计研发完成,并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体零部件涂层的加工控制方法、系统及存储介质在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体制造的技术领域,公开一种半导体零部件涂层的加工控制方法、系统及存储介质。方法包括:获取涂层加工指令及零部件的管道结构、尺寸、位置等加工数据,据此计算涂层涂覆量并向管道注入材料;按管道结构划分多个加工方向段并确定加工顺序,依管道尺寸算得各方向段的长度、内径,进而通过与预设参考量对比分别算出第一、第二时间量,二者结合得出方向段加工时间,取最长者为方向加工时间;按加工顺序对零部件振动,振动时长与方向加工时间正相关。该方法实现了涂层加工的精准控制,提升了涂层质量与生产效率。
本发明授权一种半导体零部件涂层的加工控制方法、系统及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种半导体零部件涂层的加工控制方法,其特征在于,包括如下步骤: 获取零部件的涂层加工指令; 基于所述涂层加工指令获取所述零部件的加工数据,所述加工数据包括所述零部件的管道结构、管道尺寸和管道位置; 根据所述加工数据计算出涂层涂覆量,根据所述管道位置向管道注入涂层材料; 根据所述管道结构提取出多个加工方向段,以及所述加工方向段对应的加工顺序; 根据所述管道尺寸计算出每个所述加工方向段对应的方向段长度和方向段内径; 根据所述方向段长度与预设的长度参考量计算出第一时间量;根据所述方向段内径与预设的内径参考量计算出第二时间量; 根据所述第一时间量和所述第二时间量计算出方向段加工时间,取最长的所述方向段加工时间作为方向加工时间; 按照所述加工顺序对所述零部件进行振动,振动时长与所述方向加工时间正相关设置; 所述按照所述加工顺序对所述零部件进行振动的步骤中,还包括如下子步骤: 获取当前所述加工顺序对应的所述加工方向; 当所述零部件进入当前所述加工方向至预设的过渡时间后,对所述零部件施加振动力; 其中,进入当前所述加工方向的过程中,所述振动力的方向不变仅所述零部件的姿态进行变化,或者,所述振动力的方向与所述零部件的姿态均进行变化; 所述振动力的方向与所述零部件的姿态均进行变化的步骤中,还包括如下子步骤: 计算当前所述加工方向段的所述方向加工时间和下一所述加工方向段的所述方向加工时间的比值为过渡比值; 根据所述过渡比值正相关调节所述零部件姿态的调节速度;所述过渡比值越大,所述零部件姿态的调节速度越大;所述过渡比值越小,所述零部件姿态的调节速度越小。
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