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龙图腾网获悉广东三石园科技有限公司申请的专利一种针对MEMS阵列的旋转角度测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120558130B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511044574.3，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权一种针对MEMS阵列的旋转角度测量装置及方法是由左治鹏;陈厚宏;梁嘉伦;李欣晓设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种针对MEMS阵列的旋转角度测量装置及方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种针对MEMS阵列的旋转角度测量装置及方法，涉及MEMS测量领域，包括：激光光源设置在光学平台的一侧；光学平台用于放置和移动MEMS阵列；投影平面设置在光学平台另一侧的上方且能够上下移动；工业相机与投影平面对应设置；控制单元与光学平台、MEMS阵列和工业相机连接；控制单元通过改变MEMS阵列中待测镜面对应的引脚电压，使待测镜面向一个旋转方向转动，同时控制工业相机对投影平面拍摄图像并标记图像上的光斑坐标，确定不同引脚电压与光斑坐标的对应关系，最终绘制电压‑角度响应曲线。本申请无需精确校准入射光线的角度，即便是在MEMS阵列变化角度微小的情况下，也能实现对其旋转角度的自动和准确测量。

本发明授权一种针对MEMS阵列的旋转角度测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种针对MEMS阵列的旋转角度测量装置，其特征在于，所述针对MEMS阵列的旋转角度测量装置包括：光学平台、激光光源、显微镜、投影平面、工业相机和控制单元； 所述光学平台用于放置和移动MEMS阵列；所述MEMS阵列具有两个旋转轴和四个旋转方向；所述MEMS阵列具有X和Y两个旋转轴，并分为X+、X‑、Y+和Y‑四个旋转方向； 所述激光光源设置在所述光学平台的一侧；所述激光光源用于向所述MEMS阵列提供入射光线； 所述显微镜设置在所述光学平台的正上方；所述显微镜用于校准所述入射光线与所述MEMS阵列中镜面的位置，以及观察所述MEMS阵列与所述控制单元的连接状态； 所述投影平面设置在所述光学平台另一侧的上方且能够上下移动；所述投影平面用于显示所述入射光线被镜面反射后形成的光斑； 所述工业相机与所述投影平面对应设置；所述工业相机用于通过拍摄图像来捕获所述投影平面上的光斑； 所述控制单元分别与所述光学平台、所述MEMS阵列和所述工业相机连接；所述控制单元用于：控制所述光学平台移动；改变所述MEMS阵列中待测镜面对应的引脚电压，使所述待测镜面向一个旋转方向转动，同时控制所述工业相机对所述投影平面拍摄图像并标记所述图像上的光斑坐标，确定不同引脚电压与光斑坐标的对应关系；根据不同引脚电压对应的光斑坐标、初始光斑的坐标和像素参数，计算不同引脚电压对应的光斑移动距离，并将距离参数和不同引脚电压对应的光斑移动距离代入待测镜面当前旋转方向对应的角度计算公式，确定每个引脚电压对应的待测镜面响应角度并绘制电压‑角度响应曲线；获取所述MEMS阵列中所有镜面在四个旋转方向下的电压‑角度响应曲线，完成所述MEMS阵列的旋转角度测量。

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