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龙图腾网获悉南京埃米仪器科技有限公司申请的专利一种用于高通量工业AFM扫描速度优化的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120577556B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511082393.X，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权一种用于高通量工业AFM扫描速度优化的方法和系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于高通量工业AFM扫描速度优化的方法和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于高通量工业AFM扫描速度优化的方法和系统，方法包括步骤：S1、构建检测窗口、扰动和初始扫描速度；S2、依据是否存在先验数据，进行对应的AFM扫描、获得先验概率并确定阈值；S3、用检测窗口积累量测数据，判断是否超过检测窗口的监控范围，若否则继续积累；若是则计算后验概率；S4、依据后验概率和阈值大小，控制扫描速度。本发明通过动态调整扫描速度与AFM控制过程，根据似然概率实现快速跳过或精细扫描；还用检测窗口与扰动阈值结合获得实时判断机制，能动态调整对不同产品扫描速度；还在不依赖额外成像设备或硬件修改的前提下，以软件方式改进计算过程，既控制成本又提升AFM扫描通量。

本发明授权一种用于高通量工业AFM扫描速度优化的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于高通量工业AFM扫描速度优化的方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、将AFM的扫描参数初始化，构建出三个参数：检测窗口、扰动和扫描速度； S2、判断是否存在先验数据，若是，则从先验数据中计算出扰动的历史阈值C1、表面高度的历史均值及历史离散程度、先验概率P0，开始进行实际的AFM扫描并获得扫描数据I； 若不是，则在设定扰动的阈值为初始默认值C2后，开始进行实际扫描并获得扫描数据II；基于扫描数据II计算出对应的表面高度均值、离散程度和对应的先验概率P0； S3、利用检测窗口积累实际的AFM扫描对应的量测数据，判断量测数据中扫描的行数是否超过检测窗口的监控范围，若否，则继续进行积累；若是，则依据先验概率P0从量测数据中计算出后验概率； S4、在后验概率≤历史阈值C1或后验概率≤初始默认值C2的情况下，保持初始扫描速度不变；在后验概率历史阈值C1或后验概率初始默认值C2的情况下，降低扫描速度并重新返回步骤S3中利用检测窗口积累实际的AFM扫描对应的量测数据，进行循环，直至后验概率≤历史阈值C1或后验概率≤初始默认值C2时，保持初始扫描速度不变。

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