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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司;江西兆驰集成科技有限公司申请的专利DFB激光器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120581956B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511086709.2，技术领域涉及：H01S5/12；该发明授权DFB激光器及其制备方法是由肖家骐;张鹏;杨奕;胡加辉设计研发完成，并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本DFB激光器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种DFB激光器及其制备方法，涉及激光器领域。DFB激光器的制备方法包括：在外延片上形成掩膜层，刻蚀形成第一子单元、脊波导结构和第二子单元；脊波导结构设于第一子单元与第二子单元之间；形成硬介质层，刻蚀硬介质层，在第一子单元上形成第一支撑单元，在第二子单元上形成第二支撑单元；再形成钝化层、上电极层、下电极层；其中，钝化层、上电极层的厚度均小于硬介质层的厚度。实施本发明，可提升DFB激光器的良品率，提升其可靠性。

本发明授权DFB激光器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种DFB激光器的制备方法，其特征在于，包括： 提供外延片，所述外延片包括衬底，所述衬底具有相对的第一表面和第二表面；所述衬底的第一表面上依次层叠有下限制层、下波导层、有源层、上波导层、上限制层、光栅层、腐蚀停止层、InP包层和接触层； 在所述外延片上形成掩膜层，并形成暴露所述接触层的第一开口； 沿所述第一开口刻蚀所述外延片，形成第一子单元、脊波导结构和第二子单元；所述脊波导结构设于所述第一子单元与所述第二子单元之间，所述第一子单元与所述脊波导结构之间设有暴露所述腐蚀停止层的第二开口，所述第二子单元与所述脊波导结构之间设有暴露所述腐蚀停止层的第三开口； 去除所述掩膜层，得到第一中间体； 在所述第一中间体上形成硬介质层；所述硬介质层覆盖所述第一子单元、第二子单元以及所述脊波导结构； 刻蚀所述硬介质层，在所述第一子单元上形成第一支撑单元，在所述第二子单元上形成第二支撑单元，得到第二中间体；所述第二支撑单元为第一子支撑部、第二子支撑部、第三子支撑部围合而成的半包围结构，其开口朝向所述脊波导结构； 在所述第二中间体的表面形成钝化层；并在所述脊波导结构的顶部形成暴露所述接触层的第四开口；所述钝化层的厚度小于所述硬介质层的厚度； 形成上电极层，所述上电极层通过第四开口与所述接触层接触；所述上电极层的厚度小于所述硬介质层的厚度；所述上电极层在所述第二子单元上的延伸部伸入所述第一子支撑部、第二子支撑部、第三子支撑部围合而成的半包围结构中； 在所述衬底的第二表面上形成下电极层。

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