季华实验室徐秀兰获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种半硬磁合金薄膜材料、制备方法及磁栅器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120591726B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511100728.6,技术领域涉及:C23C14/16;该发明授权一种半硬磁合金薄膜材料、制备方法及磁栅器件是由徐秀兰;单欣;于广华;任宏宇;何强设计研发完成,并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半硬磁合金薄膜材料、制备方法及磁栅器件在说明书摘要公布了:本申请属于金属磁性薄膜技术领域,具体涉及一种半硬磁合金薄膜材料、制备方法及磁栅器件。本申请所提供的半硬磁合金薄膜材料的制备方法包括以下步骤:对基材进行清洗,随后对基材的表面沉积FeCoCr薄膜,得到制备态FeCoCr薄膜,随后对制备态FeCoCr薄膜进行Al离子注入,随后进行真空退火;Al离子注入中,注入能量28keV‑32keV,偏置电压450V‑500V;真空退火的温度为540℃‑560℃。本申请所提供的特定的半硬磁合金薄膜材料的制备方法中,通过特定的方法在FeCoCr薄膜中注入Al离子,使薄膜的调幅分解温度降低,进而只需较低温度的退火处理,即可获得高磁性能的FeCoCr薄膜,从而避免了传统方法中高温加工导致的材料缺陷。
本发明授权一种半硬磁合金薄膜材料、制备方法及磁栅器件在权利要求书中公布了:1.一种半硬磁合金薄膜材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:对基材进行清洗,得到预处理基材,随后于所述预处理基材的表面沉积FeCoCr薄膜,得到制备态FeCoCr薄膜,随后对所述制备态FeCoCr薄膜进行Al离子注入,随后进行真空退火;所述Al离子注入的过程中,注入能量为28 keV ‑ 32 keV,偏置电压为450 V ‑ 500 V;所述真空退火的温度为540 ℃ ‑ 560 ℃。
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