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龙图腾网获悉善测(天津)科技有限公司申请的专利电容式薄膜厚度测量的角度归零自适应补偿装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120609260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511113387.6，技术领域涉及：G01B7/06；该发明授权电容式薄膜厚度测量的角度归零自适应补偿装置及方法是由李杨宗;段发阶;叶德超设计研发完成，并于2025-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本电容式薄膜厚度测量的角度归零自适应补偿装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电容式薄膜厚度测量的角度归零自适应补偿装置及方法，属于薄膜厚度测量技术领域，包括：测量薄膜厚度的电容传感器，在所述电容传感器的传感器探头上安装有吹气装置；带动电容传感器运动的位置补偿机构；所述位置补偿机构包括补偿执行部和补偿系统；检测电容传感器位移量的偏量传感器；其中：所述电容传感器安装在补偿执行部的动力输出部；所述补偿系统接收偏量传感器的检测信号，并根据检测信号和补偿逻辑控制补偿执行部动作。本发明结合了伯努利效应、传感器技术以及先进的闭环控制系统，确保在整个检测过程中，薄膜和传感器探头之间的距始终保持恒定不变，从而最大限度地减少误差，保障检测数据的准确性和可信度。

本发明授权电容式薄膜厚度测量的角度归零自适应补偿装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种电容式薄膜厚度测量的角度归零自适应补偿装置，其特征在于，包括： 测量薄膜厚度的电容传感器，在所述电容传感器的传感器探头2上安装有吹气装置11； 带动电容传感器运动的位置补偿机构；所述位置补偿机构包括补偿执行部和补偿系统； 检测电容传感器位移量的角度传感器10，所述角度传感器10安装在任意一个上侧轴承上；其中： 所述电容传感器安装在补偿执行部的动力输出部；所述补偿系统接收角度传感器10的检测信号，并根据检测信号和补偿逻辑控制补偿执行部动作； 所述补偿执行部包括固定底板9、摆臂机构和线性运动机构，在所述固定底板9的上表面安装有摆臂支架4；所述线性运动机构安装在摆臂支架4上，所述摆臂机构包括安装两根相互平行的摆臂5，所述摆臂5的上端与摆臂支架4通过上侧轴承连接，所述摆臂5的下端与摆动块8通过下侧轴承连接，两个上侧轴承和两个下侧轴承位于平行四边形的顶点上；所述摆动块8与线性运动机构的动力输出部连接。

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