安徽晶天新能源科技有限责任公司郑松获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽晶天新能源科技有限责任公司申请的专利一种硅片表面污染清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223405526U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520048478.5,技术领域涉及:B08B3/10;该实用新型一种硅片表面污染清洗装置是由郑松;余江湖;刘君设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片表面污染清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及清洗装置领域,尤其涉及一种硅片表面污染清洗装置,包括有底板;底板的上端左部固接有清洗箱,清洗箱的上端为开口状。本实用新型通过将圆形的硅片从上向下穿过第二槽体并放置在两个托块的上端,使得圆形硅片的下端被两个托块的上端支撑,同时圆形的硅片的前后两端会与第二槽体内壁的前后两端贴合,实现对圆形硅片的限位,然后将安装块放置在第一槽体的内壁,此时固定块的下端和第一U型板的下端内壁贴合,就可以将一排安装块放置在一排第一槽体的内壁,底板内本身设有可以浸没圆形硅片的清洗液,然后开启搅拌组件可以对清洗箱内的水溶液进行搅拌,开启换能器可以对浸没在清洗箱内的圆形硅片进行超声波清洗。
本实用新型一种硅片表面污染清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片表面污染清洗装置,包括有底板1;其特征在于:底板1的上端左部固接有清洗箱2,清洗箱2的上端为开口状,清洗箱2的上端开设有两个关于清洗箱2的中心处相互对称的凹槽3,两个凹槽3的内壁共同放置有第一U型板4,第一U型板4的开口向上,清洗箱2内壁的左右两端均设置有搅拌组件5,底板1的上端右部设置有干燥组件6,第一U型板4的下端贯穿开设有均匀分布的第一槽体401,第一槽体401的内壁滑动设置有安装块406,安装块406的上端贯穿开设有第二槽体407,安装块406的前后两端均呈倒U形,安装块406两个端部的下端均固接有托块409,安装块406的前后两端均贯穿开设有第三槽体408,第三槽体408的内壁呈圆弧形,托块409靠近第三槽体408的中心的一端呈弧形,安装块406的左右两端上部均固接有固定块410,固定块410的前端贯穿开设有第二通孔411,第二通孔411的内壁放置有长柱412,底板1的左右两端均固接有均匀分布的换能器7。
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