苏州鑫睿微电子设备有限公司朱伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州鑫睿微电子设备有限公司申请的专利一种前级真空管道清洁系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223405567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422634584.X，技术领域涉及：B08B9/027；该实用新型一种前级真空管道清洁系统是由朱伟;崔浩;韦胜;肖琳设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种前级真空管道清洁系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种前级真空管道清洁系统，包括机架本体，机架本体内壁的中部固定安装有可编程控制器，机架本体的顶端固定安装有等离子发生器承载板，等离子发生器承载板的顶端固定安装有远程等离子发生器，远程等离子发生器的底端固定连通有第一离子导入管，第一离子导入管远离远程等离子发生器的一端固定连通有第二离子导入管，远程等离子发生器的一侧设有供气管路机构，本实用新型一种前级真空管道清洁系统，该清洁系统能够对化学气相沉积设备前级真空管道的堵塞进行有针对性的清洁，从而延长设备的保养周期，提高生产效率；本系统能够避开设备的软件与设备进行联动，实现自动化过程控制。
本实用新型一种前级真空管道清洁系统在权利要求书中公布了：1.一种前级真空管道清洁系统，包括机架本体1，其特征在于：所述机架本体1内壁的中部固定安装有可编程控制器2，所述机架本体1的顶端固定安装有等离子发生器承载板14，所述等离子发生器承载板14的顶端固定安装有远程等离子发生器3，所述远程等离子发生器3的底端固定连通有第一离子导入管12，所述第一离子导入管12远离远程等离子发生器3的一端固定连通有第二离子导入管13，所述远程等离子发生器3的一侧设有供气管路机构7，所述第一离子导入管12与第二离子导入管13的连接处固定安装有闸阀8，所述供气管路机构7的中部安装有真空计6，所述远程等离子发生器3的顶端固定安装有控制面板盒5，所述控制面板盒5的顶端固定安装有控制面板4，所述供气管路机构7包括导气歧管704和气体传输管701，所述导气歧管704的中部与气体传输管701的一端固定连通，所述导气歧管704的一端固定连通有气体注入管道。
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