青岛嘉星晶电科技产业园有限公司肖迪获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛嘉星晶电科技产业园有限公司申请的专利一种晶圆研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223406721U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520128686.6，技术领域涉及：B24B37/11；该实用新型一种晶圆研磨装置是由肖迪;李文峰;宫照磊设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆研磨装置，涉及晶圆研磨技术领域，该晶圆研磨装置，包括防护套，所述防护套的上端设置有固定组件，所述固定组件的上端设置有下压盖，所述固定组件的上方设置有研磨盘，所述研磨盘的上端设置有变频电机，所述变频电机与移动顶板固定，所述移动顶板通过气缸上下移动，所述防护套的上表面中心处设置有中心空腔，所述中心空腔的内部安装有伺服电机，所述固定组件包括中心座和固定座，且固定座设置有多个，所述固定座的一端设置有连接插座，所述中心座的外壁设置有连接插槽，且连接插座插入连接插槽内部，本方案解决了现有晶圆研磨的固定座不便拆卸，在局部损坏后，需要更换整体，导致更换成本高，更换不便的问题。
本实用新型一种晶圆研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨装置，包括防护套1，其特征在于：所述防护套1的上端设置有固定组件2，所述固定组件2的上端设置有下压盖3，所述固定组件2的上方设置有研磨盘6，所述研磨盘6的上端设置有变频电机5，所述变频电机5与移动顶板4固定，所述移动顶板4通过气缸9上下移动，所述防护套1的上表面中心处设置有中心空腔19，所述中心空腔19的内部安装有伺服电机20。
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