康佳芯云半导体科技(盐城)有限公司贲锋获国家专利权
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龙图腾网获悉康佳芯云半导体科技(盐城)有限公司申请的专利一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223409072U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422949036.6,技术领域涉及:B65H20/02;该实用新型一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置是由贲锋设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置,包括送料辊、撕膜平台和收卷辊,送料辊与撕膜平台之间设置有若干前张紧辊,撕膜平台与收卷辊之间设置有若干后张紧辊,送料辊上安装有DAF膜,DAF膜的外端依次穿过前张紧辊、撕膜平台、后张紧辊与收卷辊连接,还包括控制单元和报警单元,后张紧辊处安装有厚度传感器,厚度传感器、报警单元均与控制单元电性连接。通过在后张紧辊处安装厚度传感器,对后张紧辊的厚度进行实时监测,一旦发生胶粘附在后张紧辊上则及时报警,避免后张紧辊上粘胶造成后张紧辊厚度不均,保证了DAF膜受力的均匀性,保证了产品的质量和安全。
本实用新型一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置,包括送料辊、撕膜平台和收卷辊,所述送料辊与所述撕膜平台之间设置有若干前张紧辊,所述撕膜平台与所述收卷辊之间设置有若干后张紧辊,所述送料辊上安装有DAF膜,所述DAF膜的外端依次穿过所述前张紧辊、所述撕膜平台、所述后张紧辊与所述收卷辊连接,其特征在于,还包括控制单元和报警单元,所述后张紧辊处安装有厚度传感器,所述厚度传感器、所述报警单元均与所述控制单元电性连接。
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