江西兆驰半导体有限公司林赟获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种蒸镀坩埚及蒸镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409706U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422966211.2，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型一种蒸镀坩埚及蒸镀装置是由林赟;李文浩;康龙;赵晓明;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀坩埚及蒸镀装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，蒸镀坩埚包括坩埚本体，坩埚本体为倒置的圆锥台，坩埚本体包括侧壁部，及设置在侧壁部下端的底部，蒸镀坩埚还包括多个设置在底部远离侧壁部一侧的支脚，多个支架用于支撑坩埚本体使其放置时底部悬空，坩埚本体的下端边缘设有多个凸块，坩埚本体的上沿面向内倾斜形成斜面。本实用新型中的蒸镀坩埚，通过在坩埚本体上设置支脚和凸块，使得坩埚本体放置到水冷坩埚座时，整体悬空，减少蒸镀时热量传导到水冷坩埚座，这样蒸镀所耗的能量更低，另外，通过将坩埚本体的上沿面倾斜设置形成向内倾斜的斜面，这样增大了蒸镀的蒸发角度，同时减少靶材在斜面上的堆积，且防止靶材的向外溢流，从而减少靶材的浪费。
本实用新型一种蒸镀坩埚及蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，所述坩埚本体为倒置的圆锥台，所述坩埚本体包括侧壁部，及设置在所述侧壁部下端的底部，所述蒸镀坩埚还包括多个设置在所述底部远离所述侧壁部一侧的支脚，多个所述支脚用于支撑所述坩埚本体使其放置时底部悬空，所述坩埚本体的下端边缘设有多个凸块，所述侧壁部远离所述底部端设有斜面，所述斜面朝向所述侧壁部中部方向倾斜。
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