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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409707U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422675393.8，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置，包括激光发射头，激光发射头的下部设有接收装置，接收装置用于接收激光发射头发出的激光，晶圆一侧设有切边，当切边位于激光发射头与接收装置接收端之间时，接收装置接收到激光发射头发出的激光并将信号传输给旋转托盘控制结构，晶圆控制结构控制旋转托盘停止转动，当切边位置偏离激光发射头与接收装置接收端之间时，由于晶圆非切边位置的遮挡，接收装置并不能接收激光发射头发出的激光，因此不能传输信号给旋转托盘控制结构，故，控制电机转动带动转轴转动，从而带动旋转托盘旋转，对晶圆位置进行微调，直至接收装置接收到激光发射头发出的激光并将信号传输给旋转托盘控制结构。

本实用新型一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置，所述加热腔包括壳体1，壳体1底部设有连接板11，所述连接板11处设有通孔12，所述壳体1内设有旋转托盘21，旋转托盘21用于放置晶圆4，旋转托盘21的底部设有转轴22，所述转轴22穿过通孔12与电机3连接，电机3转动带动转轴22转动，其特征在于：所述壳体1的上方一侧设有纠边装置5，所述纠边装置5包括激光发射头54，所述激光发射头54的下部设有接收装置6且所述接收装置6的接收端固定位于所述壳体1内，所述接收装置6的输出端固定位于所述壳体1外且与旋转托盘控制结构电性连接，所述接收装置6用于接收所述激光发射头54发出的激光，所述晶圆4一侧设有切边41，当切边41位于所述激光发射头54与所述接收装置6接收端之间时，所述接收装置6接收到所述激光发射头54发出的激光并将信号传输给旋转托盘控制结构，晶圆4控制结构控制旋转托盘21停止转动，当切边41位置偏离所述激光发射头54与所述接收装置6接收端之间时，由于所述晶圆4非切边41位置的遮挡，所述接收装置6并不能接收所述激光发射头54发出的激光，因此不能传输信号给旋转托盘控制结构，故，控制电机3转动带动转轴22转动，从而带动旋转托盘21旋转，对晶圆4位置进行微调，直至所述接收装置6接收到所述激光发射头54发出的激光并将信号传输给旋转托盘控制结构 。

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