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苏州维克优真空技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州维克优真空技术有限公司申请的专利一种可调节磁场强度的双向磁控溅射用磁棒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223409708U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422753376.1,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种可调节磁场强度的双向磁控溅射用磁棒是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可调节磁场强度的双向磁控溅射用磁棒在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种可调节磁场强度的双向磁控溅射用磁棒,包括两个磁铁阵列组件和冷却水管,两个磁铁阵列组件分别位于冷却水管的两端,冷却水管内依次间隔设置有若干个调节装置,调节装置包括两个错位设置的调节组件,两个调节组件的调节方向不同,所述调节组件包括调节块、转动柱和插销,调节块上依次设置有若干个第一齿条,转动柱沿周向设置有若干个第二齿条,第一齿条与第二齿条啮合,调节块的一端穿过冷却水管与磁铁阵列组件连接,转动柱的两端分别与冷却水管的两个侧端转动连接,转动柱伸出冷却水管的两端沿周向设置有若干个定位孔,所述冷却水管的外壁上设置有若干个限位柱。该磁棒不仅溅射速度和效率,还提高了镀膜质量和靶材利用率。

本实用新型一种可调节磁场强度的双向磁控溅射用磁棒在权利要求书中公布了:1.一种可调节磁场强度的双向磁控溅射用磁棒,其特征在于,包括两个磁铁阵列组件1和冷却水管2,两个磁铁阵列组件1分别位于冷却水管2的两端,冷却水管2内依次间隔设置有若干个用于对磁铁阵列组件1进行高度调节的调节装置3,调节装置3包括两个错位设置的调节组件31,两个调节组件31的调节方向不同,所述调节组件31包括竖向设置的调节块311、水平设置的转动柱312和可拆卸的插销313,调节块311的侧端依次设置有若干个第一齿条100,转动柱312的中间段沿周向设置有若干个第二齿条101,第一齿条100与第二齿条101啮合,调节块311的一端穿过冷却水管2与磁铁阵列组件1连接,调节块311的另一端与冷却水管2之间设置有间隙,转动柱312的两端分别与冷却水管2的两个侧端转动连接,转动柱312伸出冷却水管2的两端沿周向设置有若干个用于与插销313定位配合的定位孔102,所述冷却水管2的外壁上设置有若干个用于与插销313限位配合的限位柱21。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州维克优真空技术有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中区南官渡路521号3幢6楼611室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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