成都超迈光电科技有限公司张松林获国家专利权
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龙图腾网获悉成都超迈光电科技有限公司申请的专利一种基于HIPIMS技术的薄膜溅镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409709U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422798117.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种基于HIPIMS技术的薄膜溅镀装置是由张松林;周君君设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于HIPIMS技术的薄膜溅镀装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种基于HIPIMS技术的薄膜溅镀装置，包括真空室和设置于真空室内的高功率脉冲磁控溅射系统，高功率脉冲磁控溅射系统包括高功率脉冲磁控溅射电源，高功率脉冲磁控溅射电源包括高功率元器件和导热板，导热板上设有承载面，承载面用于安装高功率元器件；导热板内部开设有正向导流管道和反向导流管道，正向导流管道两端分别连通有正向进水口和正向出水口，反向导流管道的两端分别连通有反向进水口和反向出水口，且正向进水口靠近反向出水口设置，正向出水口靠近反向进水口设置，高功率元器件产生的热量通过导热板热传导至于冷却水接触，使得热量被冷却水吸收带走。
本实用新型一种基于HIPIMS技术的薄膜溅镀装置在权利要求书中公布了：1.一种基于HIPIMS技术的薄膜溅镀装置，包括真空室和设置于所述真空室内的高功率脉冲磁控溅射系统，所述高功率脉冲磁控溅射系统包括高功率脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述高功率脉冲磁控溅射电源包括高功率元器件1和导热板2，所述导热板2上设有承载面4，所述承载面4用于安装高功率元器件1；所述导热板2内部开设有正向导流管道5和反向导流管道6，所述正向导流管道5两端分别连通有正向进水口7和正向出水口8，所述反向导流管道6的两端分别连通有反向进水口9和反向出水口10，且所述正向进水口7靠近所述反向出水口10设置于所述导热板2侧面，所述正向出水口8靠近反向进水口9设置于所述导热板2侧面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都超迈光电科技有限公司，其通讯地址为：610000 四川省成都市成都经济技术开发区(龙泉驿区)南一路1024号4栋5层503号附519-521号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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