江苏蚩煜科技有限公司邵玮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏蚩煜科技有限公司申请的专利一种精确控制溅射枪位移距离的电控伸缩装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409710U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422884694.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种精确控制溅射枪位移距离的电控伸缩装置是由邵玮;朱俊;李婷婷;王浩;陈凯强;陈妍设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种精确控制溅射枪位移距离的电控伸缩装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，具体公开了一种精确控制溅射枪位移距离的电控伸缩装置，包括：滑台连接板一，滑台连接座的上端安装有移动板，移动板的内部连接有伸缩管，伸缩管的一端设置有溅射枪，滑台连接座连接有驱动组件，一组侧挡板的上端设置有行程标尺；本实用新型的本电控伸缩装置使溅射靶能够精确的调节位置，能够产生工艺调节更精确，重复性更好的薄膜，从而提高产品良率；本电控伸缩装置通过电机驱动，提高了操作者的使用便利性；本电控伸缩装置进行伸缩动作平稳，速度能够调节，满足不同操作需求；本电控伸缩装置能够快速响应，提高了工作效率；本电控伸缩装置能够精准位移数值及记录作业工况，便于工艺溯源。
本实用新型一种精确控制溅射枪位移距离的电控伸缩装置在权利要求书中公布了：1.一种精确控制溅射枪位移距离的电控伸缩装置，其特征在于，包括：滑台连接板一2，所述滑台连接板一2的上端通过滑台导轨组件26连接有滑台连接座6，所述滑台连接座6的上端安装有移动板8，所述移动板8的内部连接有伸缩管9，所述伸缩管9的一端设置有溅射枪13，所述滑台连接座6连接有驱动组件，所述台连接板一的上端一侧连接有导向柱固定板4，所述台连接板一的上端另一侧连接有加强板一15，所述加强板一15的一侧安装有安装法兰11，所述安装法兰11的内部开设有与所述伸缩管9相配合的通孔，所述滑台连接板一2的上端还设置有侧挡板18，一组所述侧挡板18的上端设置有行程标尺24，所述滑台连接板一2的上端还安装有光栅尺21，所述滑台连接板一2的上端通过支架安装有光电开关23。
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