青岛华旗科技有限公司姜洪斌获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华旗科技有限公司申请的专利一种用于半导体工艺设备的真空炉门获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409716U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422772550.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种用于半导体工艺设备的真空炉门是由姜洪斌;姜雪玲;陈学超设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体工艺设备的真空炉门在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体工艺技术领域，具体为一种用于半导体工艺设备的真空炉门，包括炉门本体，所述炉门本体通过真空法兰与石英管连接，所述炉门本体远离石英管的一侧与波纹管的一端连接，所述波纹管的另一端与固定板连接，所述固定板上安装有压紧螺杆，所述固定板通过向靠近炉门的方向移动，使压紧螺杆与炉门本体抵触，本实用新型中设置波纹管，在固定板向靠近石英管的方向移动，从而带动炉门本体与石英管上的真空法兰接触，炉门本体继续缓慢向石英管移动，波纹管压缩，直至压紧螺杆与将炉门本体压紧，此时波纹管也对炉门本体施加向石英管方向的压力，进一步提高了石英管与炉门本体之间的密封性。
本实用新型一种用于半导体工艺设备的真空炉门在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体工艺设备的真空炉门，包括炉门本体1，其特征在于，所述炉门本体1通过真空法兰2与石英管3连接，所述炉门本体1远离石英管3的一侧与波纹管4的一端连接，所述波纹管4的另一端与固定板5连接，所述固定板5上安装有压紧螺杆6，所述固定板5通过向靠近炉门的方向移动，使压紧螺杆6与炉门本体1抵触。
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