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湖南顶立科技股份有限公司胡祥龙获国家专利权

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龙图腾网获悉湖南顶立科技股份有限公司申请的专利适用于环形工件的快速化学气相沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223409717U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422876685.8,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型适用于环形工件的快速化学气相沉积设备是由胡祥龙;刘琦;谭时雨;戴煜;胡高健;谌雷设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

适用于环形工件的快速化学气相沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于环形工件的快速化学气相沉积设备,包括炉体、设置在炉体内的保温层、加热器以及外部电源,保温层内侧中心位置处设有内隔离桶,保温层内侧壁设有外隔离筒,外隔离筒和内隔离桶之间形成用于加工环形工件的沉积室,加热器设置在内隔离桶内部;加热器设置为螺旋状,外部电源为中高频交流电源。通过设置内隔离桶和外隔离筒形成沉积室,并将加热器设置在内隔离桶内部,能够提高了加热效率,提升工艺气体的利用率。通过设置螺旋状加热器与外部中高频交流电源电连接,一方面加热器自身能够发热,另一方面加热器产生的交变电磁场既能在工件上产生交变感应加热,又能加快工艺气体中电离子的运动速度,从而提高沉积效率。

本实用新型适用于环形工件的快速化学气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种适用于环形工件的快速化学气相沉积设备,包括炉体、设置在所述炉体内的保温层、设置在炉体内的加热器以及与所述加热器电连接的外部电源,其特征在于,所述保温层内侧中心位置处设有内隔离桶,所述内隔离桶敞口密封设置在所述保温层的底部;所述保温层内侧壁设有外隔离筒,所述外隔离筒和所述内隔离桶之间形成用于加工环形工件的沉积室;所述加热器设置在所述内隔离桶内部;所述加热器设置为与所述内隔离桶内侧壁相匹配的螺旋状,所述外部电源为中高频交流电源。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南顶立科技股份有限公司,其通讯地址为:410000 湖南省长沙市中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地(长龙街道)凉塘东路1271号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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