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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种防止气体提前混合的气柜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409719U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422400135.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种防止气体提前混合的气柜是由滕文聪;李玉慧;张正中;赵越设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种防止气体提前混合的气柜在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种防止气体提前混合的气柜，包括若干包括第一气体输送单元和第二气体输送单元的气体控制模块；第一气体输送单元和第二气体输送单元均包括吹扫管路和若干工艺气体输送管路，第一气体输送单元的吹扫管路一端与工艺气体输送管路一端并接后分出设有开关阀的第一和第三支路，第二气体输送单元的吹扫管路一端与工艺气体输送管路一端并接后分出设有开关阀的第二和第四支路；第一气体输送单元设有输送氧化性气体的工艺气体输送管路，第二气体输送单元设有输送还原性气体的工艺气体输送管路，第一和第二支路并接后连接反应腔室，第三和第四支路并接后连接真空抽气系统。在确保工艺稳定的前提下，克服气柜内工艺气体提前混合导致的问题。

本实用新型一种防止气体提前混合的气柜在权利要求书中公布了：1.一种防止气体提前混合的气柜，其特征在于，包括若干个气体控制模块，所述气体控制模块包括第一气体输送单元1和第二气体输送单元2； 所述第一气体输送单元1包括吹扫管路和若干条工艺气体输送管路，所述第一气体输送单元1的吹扫管路远离吹扫气体气源的一端与工艺气体输送管路远离工艺气体气源的一端并接后分出设有开关阀的第一支路11和第三支路13； 所述第二气体输送单元2包括吹扫管路和若干条工艺气体输送管路，所述第二气体输送单元2的吹扫管路远离吹扫气体气源的一端与工艺气体输送管路远离工艺气体气源的一端并接后分出设有开关阀的第二支路12和第四支路14； 所述第一气体输送单元1至少设有一条能够输送氧化性气体的工艺气体输送管路，所述第二气体输送单元2至少设有一条能够输送还原性气体的工艺气体输送管路，所述第一支路11和第二支路12并接后能够连接反应腔室A，所述第三支路13和第四支路14并接后能够连接真空抽气系统B。

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