拓荆科技(上海)有限公司陈聪获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种进气装置及反应腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409720U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422967205.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种进气装置及反应腔室是由陈聪;张艳娟;牛新平;吴凤丽;朱涛;张士勇设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气装置及反应腔室在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种进气装置及反应腔室。进气装置包括：分气块和多个流道；多个流道均贯通分气块，多个流道的末端在分气块靠近反应腔室的位置汇集后连通至反应腔室；其中一个流道的前端设置混气腔，分气块上设有至少两路接入混气腔的不同气路。本实用新型优化了现有技术在分气块中设置混合器进行分层进气混合的方式，在其中一个流道中设置开放式的混气腔来实现进气混合，减少了气体的流动阻碍，气体流动顺畅性提高后可减少气体滞留冷凝导致的颗粒物生成及残留的问题，并且不同气体之间也可通过吹扫气体很容易地吹扫干净，后期维护更方便，由此使得工艺表现更加稳定。
本实用新型一种进气装置及反应腔室在权利要求书中公布了：1.一种进气装置，应用于反应腔室，其特征在于，包括： 分气块； 多个流道，均贯通所述分气块，多个流道的末端在所述分气块靠近反应腔室的位置汇集后连通至所述反应腔室； 其中一个流道的前端设置混气腔，所述分气块上设有至少两路接入所述混气腔的不同气路。
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