锦州精辰半导体有限公司李庄获国家专利权
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龙图腾网获悉锦州精辰半导体有限公司申请的专利一种分体式气相沉积进气工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409721U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422998804.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种分体式气相沉积进气工装是由李庄;张季明;齐佳兴设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分体式气相沉积进气工装在说明书摘要公布了：本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，提出了一种分体式气相沉积进气工装，包括一段进气头、二段进气头、连接头和通气管，所述一段进气头的后方设置有二段进气头，所述一段进气头的外侧设置有连接头。本实用新型通过设置一段进气头、二段进气头和连接头，通过连接头可以快速将一段进气头与二段进气头连接，模块化、定制化的进气头，使得企业在应对不同产品时，能够迅速更换和调整进气系统，大大减少了工装数量和成本；本实用新型通过设置通气管，通气管可以起到减速作用，减少湍流和涡流的产生，确保气体均匀地覆盖在产品表面，可以提高沉积层的均匀性和质量，防止出现表面粗糙、裂纹或其他缺陷，最终达到产品表面无异常的理想状态。
本实用新型一种分体式气相沉积进气工装在权利要求书中公布了：1.一种分体式气相沉积进气工装，包括一段进气头1、二段进气头2、连接头3和通气管4，其特征在于：所述一段进气头1的后方设置有二段进气头2，所述一段进气头1的外侧设置有连接头3。
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