浙江碳马科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江碳马科技有限公司申请的专利一种原子层沉积匀气机构及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409722U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423320373.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积匀气机构及沉积设备是由请求不公布姓名;张伟俊;顾晏如;李建琳设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积匀气机构及沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种原子层沉积匀气机构，包括通入沉积用气体的进气管，所述进气管的下端通过封闭腔体连接有匀气板，所述匀气板上开设有匀气孔，且匀气孔以进气管为中心呈散射状设置多个。之所以呈散射状，主要是顺应进气管的进气向四周分散流动的特性，这样气流更均匀。这里设置了三个进气管，通过匀气板进行匀气，匀气板上的匀气孔，以进气管为中心呈散射状，且直径在远离中心的方向上逐渐增大，密度也增大，从而保证匀气效果。导流板上的主导流槽和分导流槽，结合匀气孔的使用，提高了匀气效果。抽气孔使未反应的气体及时抽走，且围绕基片进行周向分布，抽气更均匀迅速。
本实用新型一种原子层沉积匀气机构及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积匀气机构，包括通入沉积用气体的进气管1，其特征在于：所述进气管1的下端通过封闭腔体连接有匀气板2，所述匀气板2上开设有匀气孔3，且匀气孔3以进气管1为中心呈散射状设置多个。
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