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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利一种混合进气装置以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223409770U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422929432.2，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型一种混合进气装置以及半导体制造设备是由秦志坚;高培培;严怀余;邹湘设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种混合进气装置以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，更具体地说，涉及一种混合进气装置。本实用新型提供的混合进气装置，包括上盖板和进气腔体：上盖板包括第一流体通道，自上而下贯穿上盖板的中部，用于向进气腔体通入第一气体；上盖板的侧壁开设若干进气通道，若干进气通道沿所述上盖板的周侧分布，用于通入第二气体；上盖板的内部周向开设若干分流槽，用于将进气通道通入的第二气体进行分流；每个进气通道与至少一个分流槽相连接，第二气体经过进气通道以及分流槽进入进气腔体；进气腔体将通入的第一气体和第二气体混合后形成的混合气体输出。本实用新型能够确保两种工艺气体在装置内实现均匀且彻底的混合效果，从而保证半导体工艺的均匀性和高效性。

本实用新型一种混合进气装置以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种混合进气装置，其特征在于，包括上盖板和进气腔体： 所述上盖板，与所述进气腔体的上部固定连接； 所述上盖板包括第一流体通道，所述第一流体通道自上而下贯穿所述上盖板的中部，用于向进气腔体通入第一气体； 所述进气腔体包括第二流体通道，所述第二流体通道自上而下贯穿所述进气腔体的中部，并与第一流体通道相连通； 所述上盖板的侧壁开设若干进气通道，所述若干进气通道沿所述上盖板的周侧分布，所述进气通道的一端位于所述侧壁，所述进气通道的另一端向中心方向延伸并位于所述上盖板的内部，所述进气通道用于通入第二气体； 所述上盖板的内部周向开设若干分流槽，所述若干分流槽相对于所述上盖板的圆周方向形成环形布局，用于将所述进气通道通入的第二气体进行分流； 每个所述进气通道与至少一个所述分流槽相连接，所述第二气体经过所述进气通道以及所述分流槽进入所述进气腔体的所述第二流体通道； 所述第二流体通道，将通入的所述第一气体和所述第二气体混合后形成的混合气体输出。

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