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立谛微真空系统(湖北)有限公司黄金道获国家专利权

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龙图腾网获悉立谛微真空系统(湖北)有限公司申请的专利一种快速抽真空装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223410968U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422826566.1,技术领域涉及:F04B37/14;该实用新型一种快速抽真空装置是由黄金道;饶建文设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种快速抽真空装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种快速抽真空装置,涉及真空设备技术领域,该抽真空装置包括外壳体、中隔套、内壳体、注入管以及抽气管;内壳体内部空腔为吸附腔,内壳体位于中隔套内,内壳体内部空腔为吸附腔,内壳体和中隔套之间的空腔为冷冻腔,中隔套和所述外壳体之间的空腔为隔热腔;吸附腔内设有吸附材料。本实用新型的有益效果为:该抽真空装置通过注入管向冷冻腔内注入液氮即可快速降低吸附腔内温度,从而使待抽空装置内的残余气体向吸附腔流动,并使残余气体中的水分液化进而被吸附材料吸收,这样可以快速完成对待抽空装置进行抽真空,使其内真空度迅速降至1E‑2Pa至1E‑3Pa级别,满足半导体制程、表面分析和材料处理等应用对快速抽真空的需求。

本实用新型一种快速抽真空装置在权利要求书中公布了:1.一种快速抽真空装置,其特征在于,包括外壳体、中隔套、内壳体、注入管以及抽气管; 所述中隔套位于所述外壳体内,所述内壳体位于所述中隔套内,所述内壳体内部空腔为吸附腔,所述内壳体和所述中隔套之间的空腔为冷冻腔,所述中隔套和所述外壳体之间的空腔为隔热腔; 所述注入管一端位于所述外壳体外部,另一端延伸至外壳体内与所述冷冻腔连通,所述抽气管一端位于所述外壳体外部,另一端穿过外壳体内与所述吸附腔连通; 所述吸附腔内设有吸附材料。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人立谛微真空系统(湖北)有限公司,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路40号葛洲坝太阳城20栋202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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