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龙图腾网获悉苏州普瑞斯通智能科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆外径检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223412642U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423050555.5，技术领域涉及：G01B5/08；该实用新型一种半导体晶圆外径检测装置是由沈军设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆外径检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶圆外径检测技术领域，尤其涉及一种半导体晶圆外径检测装置。包括机架，所述机架的上端表面固定连接有基板，所述机架的一侧安装有支撑板，所述基板的上表面设置有晶圆本体，所述基板的上表面安装有限位机构，所述限位机构包括两个固定框，两个所述固定框位于基板的表面两端，所述固定框的下表面与基板的表面固定连接，所述固定框的内壁转动连接有驱动轴，所述驱动轴的圆弧面螺纹连接有驱动环，所述驱动环的上端表面固定连接有限位板，两个所述限位板彼此靠近的一侧开设有限位槽，所述限位槽的内壁与晶圆本体的表面相抵接。本实用新型提供的一种半导体晶圆外径检测装置具有方便快速地对晶圆外径进行检测限位的优点。

本实用新型一种半导体晶圆外径检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆外径检测装置，其特征在于，包括：机架1，所述机架1的上端表面固定连接有基板2，所述机架1的一侧安装有支撑板3，所述基板2的上表面设置有晶圆本体6，所述基板2的上表面安装有限位机构4，所述限位机构4包括两个固定框401，两个所述固定框401位于基板2的表面两端，所述固定框401的下表面与基板2的表面固定连接，所述固定框401的内壁转动连接有驱动轴402，所述驱动轴402的圆弧面螺纹连接有驱动环404，所述驱动环404的上端表面固定连接有限位板403，两个所述限位板403彼此靠近的一侧开设有限位槽406，所述限位槽406的内壁与晶圆本体6的表面相抵接，所述基板2的表面固定连接有安装框407，所述安装框407的上端内壁固定连接有滑杆408，所述滑杆408的截面呈一字形，所述滑杆408的圆弧面两端均滑动贯穿有移动环410，所述移动环410的下表面固定连接有挡杆413，所述挡杆413的截面呈“L”形，两个所述挡杆413彼此靠近的一端与晶圆本体6的侧壁相抵接，所述安装框407的表面固定连接有刻度板412。

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