安徽万维克林精密装备有限公司周尤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223412881U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423006266.5，技术领域涉及：G01M3/02；该实用新型一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置是由周尤;刘元博设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，涉及气体颗粒浓度检测技术领域，包括：腔体，所述腔体为圆晶处理的核心区域，所述腔体用于提供封闭、洁净的环境；温度及氧浓度传感器，所述温度及氧浓度传感器设固定安装于腔体的内部，所述温度及氧浓度传感器用于对温度与氧气浓度进行监测；前开式晶圆盒，所述前开式晶圆盒设置于腔体的内部。本实用中通过密闭腔室设计，提供稳定的测试环境，避免外界干扰，利用充气时温度及氧浓度变化，快速判断前开式晶圆盒气密性，通过温度、氧浓度双重检测，提高检出概率，通过多点位监测，快速识别出泄漏点，使前开式晶圆盒气密性在进行检测时能有效的减少环境的影响。
本实用新型一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，包括：腔体106，所述腔体106为圆晶处理的核心区域，所述腔体106用于提供封闭、洁净的环境； 温度及氧浓度传感器105，所述温度及氧浓度传感器105设固定安装于腔体106的内部，所述温度及氧浓度传感器105用于对温度与氧气浓度进行监测； 前开式晶圆盒107，所述前开式晶圆盒107设置于腔体106的内部，所述前开式晶圆盒107用于确保晶圆在运输和存储过程中的安全性和洁净度； 腔门108，所述腔门108开合连接于腔体106的一侧，所述腔门108用于确保内部环境的稳定性。
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