佛山市联动科技股份有限公司罗梓林获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市联动科技股份有限公司申请的专利晶圆测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223413418U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422582028.2，技术领域涉及：G01R31/26；该实用新型晶圆测试装置是由罗梓林;陈希辰;何国洪设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了晶圆测试装置，包括：支撑架，顶部设置有电路板的安装位；测试平台组件，具有检测部，所述检测部与所述安装位沿竖直方向相对设置；高度调节组件，与所述测试平台组件连接，并驱动所述测试平台组件沿竖向靠近或远离所述安装位；水平调节组件，所述水平调节组件驱动所述测试平台组件沿水平方向移动。本实用新型通过水平调节组件的调节，使检测部与安装位沿竖向对齐设置，通过高度调节组件，使测试平台组件靠近安装位，减小了检测部与电路板之间的距离，从而减小杂散电感的产生，提高了晶圆测试的精度，有利于获取更精确的晶圆参数。
本实用新型晶圆测试装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括： 支撑架1，顶部设置有电路板的安装位101； 测试平台组件2，具有检测部201； 水平调节组件4，所述水平调节组件4适于驱动所述测试平台组件2沿水平方向移动，以使所述检测部201与所述安装位101沿竖直方向相对设置； 高度调节组件3，适于驱动所述测试平台组件2沿竖向靠近或远离所述安装位101。
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