艾斯尔光电(南通)有限公司陈宏渊获国家专利权
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龙图腾网获悉艾斯尔光电(南通)有限公司申请的专利一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223413613U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422711788.9,技术领域涉及:G03F1/00;该实用新型一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版是由陈宏渊设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版,涉及光刻版技术领域,解决了在对光刻版使用过程中,通常需要对光刻版进行固定在进行光刻,但是在对光刻版进行固定时会采用夹持方式进行固定,这样会使其光刻版受到一定的力,在一段时间的使用后,光刻版会可能会出现一定的形变,影响到光刻版使用精度的问题。一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版,包括:通过加强侧块的设置,能够减少光刻版出现形变的发生,连接条与透明基板之间形成了稳固的固定连接关系,加强条能够将所受到的力均匀且高效地在加强侧块之间进行传递和分配。
本实用新型一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版在权利要求书中公布了:1.一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版,其特征在于包括:透明基板1,所述透明基板1四角呈对称状固定设置有加强侧块2,且加强侧块2的侧边长度比透明基板1的侧边长度长;所述透明基板1还包括有:光刻掩膜层101,光刻掩膜层101覆盖于透明基板1顶部表面。
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