深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司吴华社获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利安全快门结构和光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223413615U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423025938.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型安全快门结构和光刻机是由吴华社设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本安全快门结构和光刻机在说明书摘要公布了：一种安全快门结构和光刻机，所述安全快门结构包括：挡光件，具有设定的长度方向，所述挡光件沿长度方向具有设定的第一端和第二端，所述挡光件的第一端转动连接于所述光刻机；支撑组件，设置于所述挡光件的第二端；驱动组件，用于驱动所述挡光件旋转以遮挡或者远离所述光刻机的出光口；其中，所述支撑组件配置为在所述挡光件旋转时对所述挡光件提供向上的支撑。本申请可以避免挡光件在高温和重力作用下向下弯曲变形，并进而防止挡光件与出光口所在的基座发生摩擦而卡住挡光件。
本实用新型安全快门结构和光刻机在权利要求书中公布了：1.一种安全快门结构，其特征在于，应用于光刻机，所述安全快门结构包括： 挡光件，具有设定的长度方向，所述挡光件沿长度方向具有设定的第一端和第二端，所述挡光件的第一端转动连接于所述光刻机； 支撑组件，设置于所述挡光件的第二端； 驱动组件，用于驱动所述挡光件旋转以遮挡或者打开所述光刻机的出光口； 其中，所述支撑组件配置为在所述挡光件旋转时对所述挡光件提供向上的支撑。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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