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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种离子束蚀刻机的晶圆载台装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414031U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422623334.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种离子束蚀刻机的晶圆载台装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子束蚀刻机的晶圆载台装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种离子束蚀刻机的晶圆载台装置，包括载台板，所述载台板的下部设有密封箱，所述载台板与密封箱内的空间内设有旋转驱动组件和晶圆升降组件，所述旋转驱动组件的输出端穿过所述顶针压环连接板与过渡板连接，所述过渡板与晶圆载台之间设有载台水冷板和载台水冷板封板，所述载台水冷板置于载台水冷板封板下部，所述载台水冷板的下表面设有第一气流通道，所述载台水冷板封板的上表面设有第二气流通道，所述第一气流通道与第二气流通道固定连接构成完整的气流通道，用于贯通低温气体，所述晶圆载台处还设有多条辅助气流通道，所述辅助气流通道的一端与所述第一气流通道连通，另一端直接位于晶圆下部，使得晶圆的冷却效果更好。

本实用新型一种离子束蚀刻机的晶圆载台装置在权利要求书中公布了：1.一种离子束蚀刻机的晶圆载台装置，包括载台板1，所述载台板1上固定安装旋转臂11，所述旋转臂11用于与外部旋转驱动结构连接，通过外部旋转驱动结构进行旋转，使得晶圆的刻蚀更加的均匀，所述载台板1的下部设有密封箱12，所述载台板1与密封箱12内的空间内设有旋转驱动组件20和晶圆升降组件30，所述旋转驱动组件20的输出端穿过顶针压环连接板41与过渡板42连接，所述顶针压环连接板41与所述载台板1套接，所述顶针压环连接板41上部固定设有吊装杆组411和顶针组412，所述顶针组412位于吊装杆组411的内圈，所述顶针组412的另一端位于晶圆下部，当需要顶出晶圆时，所述顶针组412与晶圆接触并抬起晶圆，所述压环43连接板的下部连接晶圆升降组件30，用于控制所述顶针压环连接板41的升降，从而带动压环43以及顶针组412的升降，使得所述晶圆载台44与压环43、顶针组412配合，用于夹持或者顶起晶圆，其特征在于：所述过渡板42与晶圆载台44之间设有载台水冷板45和载台水冷板封板46，所述吊装杆组411的另一端依次穿过载台水冷板封板46、载台水冷板45、晶圆载台44与压环43固定连接，所述载台水冷板45置于载台水冷板封板46下部，所述载台水冷板45的下表面设有第一气流通道451，所述载台水冷板封板46的上表面设有第二气流通道461，所述第一气流通道451与第二气流通道461固定连接构成完整的气流通道，用于贯通低温气体，所述晶圆载台44处还设有多条辅助气流通道452，所述辅助气流通道452的一端与所述第一气流通道451连通，另一端直接位于晶圆下部，使得晶圆的冷却效果更好。

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